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康耐視

EUV技術量產重要里程碑 ASML展出250瓦EUV光源

  • 楊智家

全球半導體業界多年來引頸盼望極紫外光(EUV)微影技術能夠量產,如今隨著荷蘭半導體設備製造商ASML近期於美國舊金山舉辦的2017年Semicon West半導體設備展上,宣...

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