高精、高速、高潔淨度與防靜電的工業機器人

(左)Staubli 6軸防靜電版本、(右)Staubli 4軸防靜電版本。史陶比爾

半導體產業尤其以搬送光罩/晶圓與晶圓盒(Foup)來說，對於手臂本身的潔淨度和運動軌跡柔順不能頓挫都有非常高的要求，因應產能最大化手臂的移動速度客戶也希望能夠加快增加生產節拍，24小時不停機更為常態。

史陶比爾在半導體耕耘25年，為了使史陶比爾機器人能提供業界最高的精度，速度與無抖動的圓滑運動曲線與超群的耐用穩定性，史陶比爾研發獨步全球的專利JCM減速機，使其精度速度與運動曲線能大幅度領先同業。並將減速機密封油浴在液態潤滑油中，大幅度的延長保養週期與耐用性。

手臂結構更為業界領先的密封式產品設計(Capsulized)，使其擁有無裸線與無發塵的特性(ISO 14644-1: Class 2)符合半導體要求高精、高速的要求，同時也可搭配ESD防靜電版本來確保手臂不會因為空氣摩擦而產生靜電破壞晶圓。史陶比爾提供了4軸/6軸機器人與協作機器人，採用開放的Real Time PC-Based控制器，支援OPCUA與EtherCAT各種通訊讓產線更具彈性。