更多日廠有意涉足 韓EUV光阻劑自主難
- 范維君/綜合報導
隨極紫外光(EUV)時代降臨,運用範圍從晶圓代工擴及DRAM,繼三星電子(Samsung Electronics)之後,SK海力士(SK Hynix)也宣布DRAM正式導入極紫外光製程技術,但南韓EUV光阻劑仍受制日本,成為一大隱憂。據韓媒Ddaily報導...
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