SUSS選用史陶比爾無塵室機器人進行晶圓搬運

SUSS選用史陶比爾無塵室機器人應用於高價值晶圓搬運。史陶比爾

SUSS MicroTecLithography GmbH提供全系列光阻塗佈機及顯影機產品。該公司同時非常重視晶圓的搬運傳輸，設備整體搬運效果快速、精準、可靠，百萬分之幾的破片率幾乎可忽略不計，贏得全球客戶的青睞。

SUSS MicroTec這款 ACS300 Gen2塗佈及顯影系統。主要應用領域包括先進塗佈製程、晶圓級封裝應用和3D整合技術。設備內潔淨度要求達ISO Class 2其中所有晶圓搬運傳輸工作均由史陶比爾TX60L CR完成。

與半導體業內較為普遍的平面三連桿機械手臂(只有三個平面自由度)相比，史陶比爾六軸機器人在Chamber 具備寬廣的工作半徑與更高的負重。其靈活度也讓設備內部的機構與工作安排更具彈性與方便。

晶圓在此後段製程，已完成近90%的生產步驟。一片極其昂貴的晶圓如果破碎，便會導致嚴重的損失。機器人動作必須非常精準。透過史陶比爾的自有專利JCM驅動技術 TX60L手臂，輕鬆實現含外部夾治具±50微米絕對取放精度的目標。在取放和運輸晶圓時，柔順的運動軌跡無絲毫的頓挫，不會造成晶圓滑落的破片問題，提供出色的可靠性。

晶圓加工的生產時間固定，對於製程而言是項限制因素；在多片晶圓同時加工的同時，機器人本身的取放週期影響整體的產能表現甚巨。 受益於史陶比爾機器人業界最快的移動速度，且即使在較大加速度下，史陶比爾機器人仍能保持精準運行確保晶圓安全，更進一步提高設備整體的生產效率。

SUSS選擇史陶比爾六軸機器人整合到創新的ACS300 Gen2系列設備絕非偶然，經評比現有機器人尋求工作範圍、速度、精度和可靠性的最佳組合的嚴格篩選， 唯有最好的機器人才能脫穎而出。