業界首創壓電技術大顯身手

在半導體製程，Festo根據客戶的具體需求進行「量身定製」，提供基於氣動或電動控制的整體高效客製化解決方案。Festo

在剛落幕的半導體展中，Festo以最新的產品和解決方案，引起了廣泛的關注和讚賞。半導體相關業者，不僅與Festo進行了深入的交流，也對技術和創新能力給予高度評價。

半導體做為高階製造業的代表，對自動化技術的需求是快速更迭、精益求精。Festo憑藉在多個領域的豐富經驗，不僅在半導體產業，也包括新能源汽車產業、電子和組裝、太陽能、生物技術和製藥、化學、水處理、食品和包裝產業以及醫療技術和實驗室自動化等，正透過氣動加電動自動化技術的組合，為全球半導體製造業發展賦能。

台灣區總監呂瑞豐表示，在全球的半導體先進製程與先進封裝技術，台灣處於領先全球的地位，傳統的氣動技術已經難以符合高階製造的要求。而Festo創新的氣動控制技術能夠為先進製程各種典型的應用來實現升級。我們根據前段製程設備提供「量身定製」的客製化解決方案。在先進封裝，則提供了許多標準化產品，在die bonding, heat-sink, thermal/pressure oven, micro dispensing, lamination…等製程中來達成精細的流量、壓力與位置的控制。

能夠為半導體製造提供先進的氣動控制技術，主要的關鍵是來自於Festo獨特的壓電閥技術（Piezo valve technology）的優勢。例如， 壓電閥在控制上表現得非常精準、響應極快、非常節能、不發熱、沒有噪音、沒有磨擦、壽命極長，以上特點非常適合使用於先進的半導體製造，也開創了全新的氣動應用領域。

目前，Festo在slit valve/transfer valve的解決方案已經實現了在不影響Through-put的情況下， 達到大幅度的減震（vibration reduction），並且已經得到先進半導體客戶的認證。另外， 在ISO valve 的開關控制， Festo的比例控制技術可以抑制揚塵的發生，這也替半導體客戶解決在設備中，以往透過傳統的氣動技術無法克服的問題。呂瑞豐並透露，Festo的優勢在於深入了解客戶應用上的痛點，進而透過先進的氣動控制技術作為自動化解決方案提供者（Automation solution provider），而不僅是單純的自動化元件商。

Festo還推出了全新一代氣電融合自動化控制平台VTUX閥島，採用高性能輕量化材料與創新結構設計，適應各種智慧製造場景，並具有高度靈活模組化和兼容各種通訊協議的特點。

身為自動化技術和技術培訓領域的世界領先供應商，Festo成立了一個專門的半導體產業團隊，從研發、生產到銷售，充分確保創新能力，快速回應台灣半導體市場的需求。不斷創新、高效、可靠的自動化解決方案，是Festo立足半導體產業的關鍵能力。