日系半導體設備廠居安思危 擔心EUV前景
- 江仁傑／綜合報導
日本廠商在半導體設備與材料上原本就具有優勢，受美國科技戰擠壓的中國，也看重日廠有可能協助中國突破美國技術封鎖。而在晶圓製造往更精密的極紫外光(EUV)技術發展之後，雖然於EUV微影設備上缺席，但也發展出其他EUV相關的設備與材料。然而，發展EUV相關也...
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