積體電路精彩的摩爾旅程(二):神奇的光刻機 光波波長的摩爾遊戲
- 林茂雄/專欄
積體電路線路的解析度約略等於光刻機所使用的光源波長,因此光波波長也就主導了摩爾定律的進程。一:1984~1995:汞燈...
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