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愛德華綠色製造方程式 用環境減排技術實現淨零

  • 陳其璐苗栗

如果檢視2021年產業關鍵字,淨零絕對是其中之一。比爾蓋茲在《如何避免氣候災難》中提到,達到零碳是當今世代最艱鉅的任務,未來10年沒有比淨零排放、應對氣候變遷更重要的事。

11月在英國格拉斯哥剛舉行的第26屆聯合國氣候變遷大會(COP26),強調必須實現《巴黎氣候協定》,守住升溫臨界值攝氏1.5度,敦促各政府提出減碳期程與積極作法,如逐步減少化石燃料等。

全球半導體領導企業更紛紛在2021年提出淨零與氣候溫升的相關目標,如愛德華先進科技(簡:愛德華)便積極設立SBTi目標,並透過環境減排的技術協助客戶有效減少碳排。

愛德華作為高科技綠色製造技術的驅動者,以最小化半導體對現在與未來世代以及地球的環境衝擊為願景;設立了科學基礎減碳目標(Science-Based Targets initiative;SBTi),愛德華自身所有的生產製造營運以及運輸的溫室氣體量要在2030年達到減排46%的階段性目標,並以實現控制溫室氣體的排放總量不高於升溫攝氏1.5度為終極目標;此目標也與2050淨零排放同步。

愛德華在協助客戶減少溫室氣體排放的目標上,其廢氣減排(abatement)技術不斷追求創新,以2020年為例,減排解決方案幫助全球客戶減少了1,770萬噸的二氧化碳碳排,等於少了1.5個台北市一年的碳排(台北市同年碳排放量為1,138萬噸)。

其中,愛德華Atlas ULF(ultra low fuel)版本的減排設備,面對關鍵的蝕刻製程,更有效降低高達80%的燃燒腔體的瓦斯用量,因此減少了80%的碳排,而燃燒量低,對使用冰水機冷卻的需求也自然減少,便更進一步減少碳排。

此外,愛德華更提供大氣量(600slm)的減排方案幫助客戶提升一倍的廢氣處理效率(原為300slm),且大氣量的機台體積與原本一樣,等於佔地面積(footprint)直接減半,客戶僅需50%的裝機成本與面積,便能做好原本的工作,兼顧效能、成本與減碳。

另一個關鍵,是氮氧化物(NOx)的減量。這是愛德華領先業界的另一個優勢技術,以超過20年的研發,透過有效控制腔體內燃燒的溫度,保持在最小化氮氧化物(NOx)產出的條件下,直接從源頭解決了客戶處理氮氧化物等溫室氣體的壓力。

減排、淨零、永續,對愛德華來說,不只是關鍵字,更是核心價值與具體行為;與客戶同行,在實現淨零排放的路上,仍有很多未解的問題與待開發的解方,但愛德華看到更多的是,這個目標帶來的無限創新與推動產業前進的機會。