360°科技：矽甲烷(SiH4)

SiH₄，Silane即矽甲烷，在非晶矽薄膜領域所用到的又俗稱Mono Silane，目前多數是由多晶矽生產廠來供應，包括挪威REC其全球市佔率高達80%以上，另外日本三井化學、法國Airliquide投資的日本Denal、美國MEMC等。

以多晶矽領域來看，不是每個西門子法的生產業者都會用SiH₄來提煉多晶矽。也有使用TCX即SiCL3來提煉多晶矽，包括Hemlock、Wacker，其中Hemlock亦自行生產TCX，因為這個氣體在提煉多晶矽過程中會產生四氯化矽的副產品，也是太陽能多晶矽發展中受矚目的議題之一。

目前台灣仍無自製Silane的技術，主要是透過代理商來供應半導體、面板及太陽能3大產業之需，包括聯華神通集團的聯華氣體、遠東集團的亞東工業氣體及三福化工代理的Airproduct，隨著全球非晶矽薄膜的產能即將大量開出，這3家主要代理商目前也成了3大產業注目的焦點。

而台灣的取貨主要來自於日本，由於日本也是非晶矽薄膜的生產大國，許多業者擔心日本Silane恐無法因應台灣快速成長的薄膜太陽能需求進而有失衡之虞，若這種問題發生，將導致其他海外需求跟著缺貨。

目前Silane佔非晶矽薄膜的生產成本並不高，但最令人擔心的是缺貨問題一旦引爆，將陷於調不到貨的苦處，所以目前許多業者以積極簽約作為因應。(黃女瑛)相關新聞見1版