FSI 具備ViPR技術的ZETA噴霧式清洗系統 通過亞洲客戶200mm生產認證
- 魏于寧／台北
全球IC製造晶圓清洗系統的廠商FSI International，近日宣佈其具備ViPR技術的ZETA噴霧式清洗系統已可使用於200mm晶圓製程，同時也通過一家亞洲客戶在200mm晶圓生產線的認證。原先為因應300mm先進技術所推出的ViPR技術，由於可藉由單...
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