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360°Research:深刻電鑄模造

深刻電鑄模造(LIGA)為德文Lithographie GalVanoformung Abformung的縮寫,譯成英文則是Lithography Electroforming Micro Molding,中文又稱為X光顯影。深刻電鑄模造是使用X光曝光,再將曝光部分蝕刻去除,利用鑄模方式製作出金屬元件,簡單的說,深刻電鑄模造的目的就是利用LIGA技術來製作模型,以便大量生產。

LIGA的發展主要是因MEMS結構中,為加強結構強度或增加元件電致動性或磁致動性,結構必須朝高寬深、較複雜的3D形發展,而LIGA技術可滿足該方面要求。LIGA製程主要應用在高精度定位結構元件,如微型馬達、導波元件、微反應器、光電感測器等。


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