Aerotech於SEMICON展出奈米定位與超精密位移設備

積體電路讓智慧型手機等電子裝置得以運作，隨著宰制半導體製程演進的摩爾定律的預測失效後，半導體製程跨入奈米等級的世代，變成越來越大的技術瓶頸與障礙，因此，奈米定位與超精密位移技術，成為半導體產業中許多設備商均深入研究的重要技術。

美商艾羅德克有限公司(Aerotech)，長期專心致力於運動控制(Motion Control)技術，以及奈米定位控制技術的開發與應用，是知名的高精密製程所採用運動系統的重要供應商，對於提供符合現今半導體、顯示面板產業或生物科技製程設備所需要的嚴苛技術規格與產能需求，有長久的口碑，Aerotech本身的運動控制與多軸定位平台子系統可以達到奈米等級的動態定位精度、幾何公差與強韌的熱穩定性，並且廣泛的應用於包括晶圓平台(Wafer Stage)設計、晶圓檢查與偵測、CD-SEM、TEM、步進式微影、白光干涉、先進晶圓級封裝等製程機台上。

專注於高精密度奈米等級位移與運動控制技術的開發

於2017年台北國際半導體展中， Aerotech針對數種關鍵製程所需要的運動控制技術進行一系列的展示，展出主題包含三大主題：SMP(Surface Measurement Platform)表面量測平台，此平台為專為光學鏡片、球面、非球面，與圓柱結構等物件的超精密量測，除了具備奈米級的精密度外，特殊機械結構設計可減少傳統三次元量床所需的大量直線位移，進而提升量測速度達40%，第二大主題為PlanarDLA中空平台，此平台為類似產品中，為一具備次微米等級性能的超高性能中空平台，雙馬達驅動達到極高的產能，本產品已經被許多客戶導入他們的機械設備中做為其製程核心。

第三大主題為壓電平台，Aerotech在過去數年，已經被視為是新一代的高性能壓電產品指標廠商，在Global Nano Positioning Systems Market分析中，Aerotech被列為是世界上四大奈米定位系統供應商之一，四大供應商總共佔據約75%市佔率。壓電平台可以具備次奈米級的微調整能力與奈米級的重複定位精度，甚至其可以達到極高的頻寬，可應用於各種光學量測，對焦，與奈米製程等。Aerotech於2017年台北國際半導體展之攤位號碼為868，歡迎蒞臨參觀。