海德漢高精度產品於SEMICON展出

2017年度的SEMICON TAIWAN，海德漢展出海德漢集團一系列的高精度產品：海德漢開放式光學尺與模組式角度編碼器、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺。現場還展出ETEL高精密運動平台Vulcano，現場一睹ETEL高速運動控制系統的極佳制振功能。

2017年海德漢特別展出超高精度的LIP6000開放式光學尺，承襲LIP系列的極佳安裝尺寸及較低干擾準位之特色，非常適用於半導體製造、量測與高精度極微小型的生產加工。在必須高速控制同時又具備準確位置穩定性條件的機台設備中，海德漢的光學尺LIP系列即為機台中不可或缺的一部分。

模組式角度編碼器MRP8000系列為角度編碼器與高精度軸承的最佳化整合方案。海德漢已完成必要的組裝與精度調整，這不僅簡化了安裝的過程，同時還拉高了模組的精度，可確保MRP系列在應用中達到機台指定的位置要求。其高解析度與高重複定位精度的特色特別適合應用於高度精密電子量測儀器。

RSF的增量式光學尺MS15獨特光學設計與安裝容許誤差較大的特色，降低了對污染的敏感度。此一系列採用獨特的掃描原理，允許高速度達10m/s。同時內建左右極限及原點訊號輸出，讓使用者能感受到機台運動狀態的穩定性。

Numerik Jena的增量式光學尺LIK與增量式旋轉編碼器RIK系列，輕薄短小特色適用於各種電子與半導體應用以及有限設備空間。客戶也可依設備需求選擇真空的版本。

ETEL推出Vulcano XY精密運動平台適合用於晶圓的前製程段，像是微影堆疊量測技術、關鍵尺寸以及薄膜量測等等。機械軸承的設計在XY平面與垂直方向提供極高剛性、允許高加減速度(可達2.5g)、最高速度(可達1.5m/s)、優異的雙向重複精度(X軸與Y軸：±350nm)以及奈米等級的定位穩定性。Vulcano內建高速高精度控制器AccurET與主動式制振平台QuiET，能大幅增強精密運動性能，適合應用於奈米等級的量測機台。

ETEL的力量控制系統結合高負載週期、高動態特性、絕佳精度與短分度時間的分度工作台RTMBi與在最佳化尺寸空間下提供高生產量、高壽命以及高精度的力量控制短行程致動器Tucana。海德漢於2017年SEMICON TAIWAN展出，攤位於1樓德國館(J2708)，歡迎蒞臨。