SEMICON展出亞泰半導體廠務ESG新選擇

亞泰半導體管理團隊於國際半導體展合影。亞泰半導體

SEMICON Taiwan 2021國際半導體展，於2021年12月底於南港展覽館登場，展期聚焦亮點包括化合物半導體、異質整合、綠色製造及智慧製造；其中2021年更增設智慧能源管理專區與綠色製造創新形象館，強化半導體產業在ESG (環境、社會、公司治理)的重點展現，使高科技供應鏈朝向永續發展。亞泰半導體設備身為半導體高科技廠房設施的一份子，亦投入研發技術於化學品自動化管理作業，提供半導體廠更加符合ESG期待的廠務設施。

亞泰的研磨液供應系統iTrident，為業界獨有三桶式，三個化學桶同時可提供混料、供應及暫存作用，因此在空間效用及零組件使用效率上更佳，此系列亦獲得2022台灣精品獎肯定。另一精品獎產品為2021台灣精品獎認可的搖桶機TB-200，亦為亞泰新事業群「智動化」系列中化學品物料管理系列的先驅產品。無論是化學品供應系統或智動化物料管理系統，皆在廠務作業中進行環境保護的考量，除此之外，避免人員涉入化學品可能溢散的危險作業，採用高度自動化並透過數據蒐集與分析優化作業，更是充分展現對「人的關懷」與「智慧連結」，讓使用者對具備ESG概念的廠務規劃更有感。

25年來，「體貼客戶的需求」一直是亞泰執行客製化產品服務的精神，包括主力商品供應系統系列，以全機自動化操作包含入料模組、混料、供應及控制單元，針對半導體化學機械平坦化中所使用的研磨液，進行混料均勻攪拌並傳輸至製程端使用的「化學研磨液混料供應系統(Slurry & Chemical Delivery System)」，該系統在執行多點輸送作業時，需要借重電控及監測儀器的結合，達到考量品質作業及控管的成效，站在使用者的角度考量操作及使用介面的呈現，達到降低人力負擔並提高生產效率的成果。

近年來更推出「智動入料」，協助廠務人員在化學桶入料管理的一臂之力。智動化學桶載入物料管理模組的作業包括，進行桶蓋對位、以萬用開蓋器將任何樣式的化學桶蓋開啟、桶蓋移置、抽液管與化學桶的銜接、完成自動抽液以至於後續復歸桶蓋及化學桶移除作業。有可能使人員暴露在化學液操作時的風險一一採智慧化的自動作業取代，全新系列的產品發表在本次SEMICON展會中精采亮相。