KLA-Tencor瞄準EUV市場 進軍空白光罩檢測
- 連于慧／台北
半導體設備大廠KLA-Tencor趁著這次SEMICON Taiwan 2017期間，正式宣布進軍空白光罩檢測市場，推出全新的FlashScan產品線，可針對光學或極紫外(EUV)微影的空白光罩做缺陷偵測。KLA-Tencor是半導...
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