綠色製程及廠務管理論壇(3)致力於產品安全與材料使用效能最佳化 提升綠色競爭力

全球氣候變遷日益嚴重，這促使著國際環保組織對各個產業在環保上有更高的要求，今年的SEMICON Taiwan展覽，首度推出「綠色製程及廠務管理專區」，目的就是希望協助高科技產業能早日啟動綠色管理，以永續經營為目標。SEMI更特別採訪致力於半導體材料綠色研發製造企業—ATMI先進科材，針對綠色製造進行論談，期盼藉由這些領導廠商在綠色環保領域的積極作為，引導台灣更多的高科技廠商，找到綠色製造的方向與動力，提升產業競爭力。

半導體的製造是否能達到環保的具體成效，相關材料的選擇占了很重要的一環。在材料的選用上，我的觀察是：更多的原物料將取自可再生素材、可生物分解，使其在使用或棄置後，不會對環境、人類造成損害的良性的物質。

我認為如何為客戶提供一個具有效率兼具環保的解決方案，即是實踐綠色製造的最佳途徑。ATMI將「環保」與「永續經營」納入我們在新產品研發、設計時的基本原則。公司裡有一個專注於「永續經營」的團隊小組，致力於推動企業綠色環保相關的專案。此外，我們的供應商管理團隊也積極爲客戶尋找符合其需求的解決方案，並評估遴選合格的供應商作為合作夥伴。

就這樣，我們藉由滿足客戶在綠色產品的需求，逐步實現了綠色供應鏈的要求。同時，我們也針對一些主要的供應商，舉辦定期的會議以維持順暢的雙向溝通平台，這樣的活動使得ATMI可以與我們的供應商相互討論未來的技術與產品的發展藍圖，這也使得我們可以掌握最新的市場趨勢，並確保我們在環保領域上，處於領先的地位。

ATMI不僅致力於讓客戶能夠藉由我們所提供的產品解決方案來達到綠色製造的目標，公司本身在環保上的努力，也落實在我們平日的內部運作中，一再確保在每個環節都能朝向減廢、回收、節水、節能等方向來努力。

在產品的把關上，ATMI所有的產品都有符合SEMI相關之國際產業技術標準。而在符合RoHS的要求上，ATMI從一開始就嚴謹檢視新化學產品，並在階段性的把關過程中，確切檢測我們在HVM機台中的化學產品，確保這些物質不在RoHS或JIG Green list等環保違禁品清單中，並主動提交相關檢驗表單給客戶。除了上述法規和標準之外，最新的環保趨勢是遵守EICC(電子工業行為準則)。EICC涵蓋的範圍包括：勞工、環安衛、商業道德規範、管理系統要素，以及排廢、污染等對環境的影響。我認為產品要透過相關稽核認證，才能算得上真正實現綠色管理。

此外，我要特別說明的是，ATMI已經採用了所謂的「12 Principles of Green Chemistry」(綠化學12準則)作為公司營運準則，「12 Principles of Green Chemistry」是規範化學產品或製程的在環保領域的相關準則，這雖然稱不上所謂的「國際產業標準」，但此準則已受到美國環境保護局(EPA)認可。而我們也將「綠化學12 準則」視為ATMI的Green DNA，確切落實在設計、製造的每個環節中，嚴謹地控管ATMI所生產的化學產品與材料，並以最有效率的方式提供符合客戶需求的產品，以落實「12 Principles of Green Chemistry」環保原則。除此之外，我們在液體、氣體等化學材料研發階段，更採用了「High Productivity Development」方法，來避免在研發階段大量的材料耗損與浪費。

對任何一個具營利目標的產業而言，對於會增加成本的「綠色製造」，自會多所考量，當然半導體產業也不例外。然而，當我們站在制高點來看「綠色製造」這個議題時，我們會發現，一個能永續經營的企業，事實上更包含了對環境、經濟，以及整個社會有全面性的貢獻。

另外，我認為在評估環保成效時，需要針對產品本身的整個Life Cycle作全盤性的考量。譬如當我們專注於某個產品要符合無毒的要求時，可能就忽略了它實際上會消耗更多的能源，然而，這「無毒」與「節能」兩者都是環保的重要訴求，我認為應該從中找到一個對環境最友善的平衡點，才是真正的環保。

ATMI從公司成立就開始致力於產品安全性與材料使用效能的最佳化，包括RegenSi、AutoClean、PhorestClean及SDS Ventilation等產品，都是兼具環保並協助客戶達到永續經營的絕佳解決方案，有些產品甚至已銷售長達15年之久。隨著客戶積極尋找新方法來落實環保，包括：使用能降低能耗的產品、使用更少的矽、減少材料的浪費以及選擇對環境更為友善材料等，我們的解決方案就更受客戶肯定。例如TI (德州儀器) 那座獲得LEED認證的最環保晶圓廠，就是採用SDS Ventilation的產品概念。半導體製程中牽涉到許多技術和商業機密，然而我認為，未來客戶和供應商更應該要建擴大信任基礎，更開誠佈公的去分享資訊，共同設定綠色製程的目標，才能從設計就植入綠色概念，提升產業的綠色競爭力。(文：SEMI編輯？高偉玲)