DISCO推出自動化雷射剝離解決方案
有鑑於產業與市場的需求,DISCO TAIWAN將於2015年第二季開始為客戶提供雷射剝離技術的試切服務。由日本受訓認證的專業工程師,提供樣品試切、參數設定等協助客戶研究開發的解決方案。
雷射剝離技術普遍應用於垂直結構LED,由於藍寶石基板的導熱性不佳,影響發光效率,需將InGan黏合至熱傳導較佳的矽基板或是金屬基板,並利用雷射高溫分解InGan和藍寶石基板。除了垂直結構LED外,近期在雷射剝離技術也開始應用在穿戴式裝置用的LED及半導體先進製程。
DISCO開發的雷射機台,提供全自動化雷射剝離的解決方案,Wafer載入後,全自動化將Wafer和藍寶石基板分開,然後置入不同的載物台。相較於傳統的氣態雷射,DISCO的固態雷射解決方案,可提供更快速、更高品質的加工結果,尤其對於PSS(Patterned Sapphire Substrate) Wafer有極佳的剝離效果。台灣目前已有廠商導入DISCO雷射剝離技術的成功案例,並開始進行量產,近期亦有多家廠商正在進行樣品試切與方案評估。
在3月25日至3月28日的台灣國際照明展中,DISCO TAIWAN將於現場展出相關製程,敬邀各界蒞臨參觀。