馗鼎奈米展出電漿去光阻機 CNT-PA01 提高製程高良率

馗鼎奈米於電子展南港展覽館攤位K0410號，展出一系列電漿設備。

馗鼎奈米為國內第一間開發常壓電漿設備的公司，亦是國內最大電漿設備生產製造商，此次展出電漿去光阻機 CNT-PA01，最主要功能為去殘餘光阻及藍膜，CNT-PA01利用高密度電漿源提高效率，減少製程時間，並可使用多種製程氣體，在進氣、擴散及抽氣系統設計上亦經過特殊設計，亦能維持製程處理及電漿均勻度的高品質，過程採全自動化且易操作，設備的穩定性高易於維護，更可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台。

目前國內各面板廠皆已大量投入電漿設備，電漿設備具有優越的基材表面清潔能力，可配合產線速度in-line生產，亦可採點狀式針對需處理的部分作局部清潔，或選擇大面積的整面清洗，電漿設備亦為乾式清潔設備，可減少溶劑之使用，再輔以國產品價格之優勢，是業界更具生產效益及成本競爭力的選擇。

馗鼎奈米亦是國內唯一具有自行建立類鑽石鍍膜(DLC)及Diamond、TiN等鍍膜設備和開發新製程技術能力的廠商，包括日本光碟模具原廠都直接委託馗鼎進行鍍膜代工，馗鼎開發之接觸角量測儀及微氧分析儀，其產品品質亦獲國內外公司及各大專院校之高度肯定。