Aerotech推出精密壓電定位平台

Aerotech精密壓電定位平台QFOCUS QF−50。

Aerotech推出QFOCUS QF−50壓電奈米級定位平台，專為高性能顯微物鏡和光學定位而設計。QFOCUS QF−50擁有400μm的閉迴路行程和450μm的開迴路行程、高速、0.01%的線性度，及次奈米級解析度和4nm的雙向重複性。

QF−50適用於光學儀器和下一代鐳射微加工應用。由於採用高剛度機械設計，QF−50與同類壓電掃描器相比具有更大、孔徑(NA)數值更高的物鏡。QF−50是需要高精度、高產量及長行程光學定位應用的理想選擇。

QFOCUS QF−50採用有限元分析優化後的精密撓性軸承，具有出色的剛性和共振頻率，可實現更高的產能和快速的閉迴路回應；同時，為考量QF−50撓性軸承的設計，確保其在整個行程範圍內擁有無與倫比的幾何性能，平直度誤差僅40 nm。

QFOCUS QF−50使用獨特電容式感測器設計的可選閉迴路回饋使得其擁有次奈米級解析度和高線性度。與應變規或壓阻式感測器的差異是，電容式感測器可直接測量定位平台機架，且具有優異的精度和重複性。

當與Aerotech公司Q系列控制器和驅動器結合時，QF−50展示了其次奈米級定位解析度和定位穩定性(抖動)的特性，同時保持較高的定位頻寬；還擁有高級軟體選項，如動態控制工具箱和運動設計器，可提供各種高效且易於使用的工具，包括迭代學習控制，諧波消除和命令塑形功能，從而提供更佳的動態追隨功能和更快的位移整定時間，並可使用OEM驅動器選項。

QF−50擁有螺紋轉接環，適用於大多數顯微鏡和物鏡；顯微鏡的轉臺允許在任意方向快速簡單地定位及安裝。此外，定位平台上的螺紋孔為機器或其他光學儀器中的定制介面提供了替代安裝方式。QF−50具有標準的29 mm透明孔徑，還可提供客製化定位平台設計、行程和螺紋轉接環。