奇鼎精耕微影製程設備維護服務 提升黃光製程良率

奇鼎黃光製程服務團隊。

劉中興／台北
綜觀半導體元件製造過程，其中含括光阻塗佈、曝光、顯影、等步驟黃光製程，是相當關鍵的一環，因此如何藉由高精度製程環境控制、空氣微污染物去除等相關技術，善加控制與監測黃光製程環境品質，以期提升製程良率與設備妥善率，無疑至關重大。

著眼於此，一向以氣流製程為核心技術的奇鼎科技，提升潔淨室所需之精密溫濕控制技術，及微粒(Particle)與氣狀分子污染物(AMC)的去除技術，開發出對應的高精度製程環境微控設備，包括恆溫恆濕機(TCU)、及恆溫恆濕微污處理設備(TAU)，更藉由核心技術基礎，提供客戶舊系統技術精進改善與維護等服務方案，全力確保客戶設備的妥善率與良率。

奇鼎科技總經理鄭智文表示，環顧現今大中華市場的黃光製程環境淨化需求，主要來自兩塊，一是8吋晶圓廠既有機台的維護與精進，另一則與對岸大舉投資興建半導體廠息息相關，在建設過程中，伴隨而來的精進與改善的需求相當可觀，奇鼎科技將提出更快與更有效率的解決方案服務客戶。

放眼日韓，已有不少專攻半導體製程微環境控制的業者，在溫濕度控制方面堪稱實力強勁，有些甚至成為知名曝光機或顯影／塗佈設備大廠的夥伴，若奇鼎一味與這些可敬對手硬拼，肯定不是辦法，因此朝向「小區域內的Total Solution」利基路線發展，除恆溫恆濕控制外，也將觸角延伸到Particle／AMC淨化，輔以自動化偵測、有機氣體線上分析系統等機制搭配，讓奇鼎躍居製程微環境控制的整體方案的提供者。

值得一提，奇鼎為了深度滿足客戶在於黃光製程環境控制的種種需求，尤其協助客戶端的基礎工程師有效解決各種疑難雜症，遂於2012年起提供系統健診、技術精進與維修改善等相關服務，標榜提前系統健診、快速偵錯與對應， 預防保養與維護等特色，幫助客戶避免非預期停線與降低停線損失。

服務團隊深具歷練  可協助客戶精進製程

論及奇鼎的服務優勢，鄭智文說，首先是該公司在台灣、大陸皆設有營業據點與人力，因而可爭取時效就近排除障礙，平均在8小時內解決難題，確保客戶端黃光製程環境的穩定性。

其次綜觀奇鼎服務團隊，擁有不少深具黃光製程背景，或富含曝光機、顯影、塗佈相關設備經驗的人才，不但有助提高維護效率，還可進一步基於專業角度，針對客戶的製程環境提出精進改善的建議，增強各種製程設備的運作效能。

為達成高效能客戶服務奇鼎建立完整的備品庫存，內容涵蓋主要廠牌的風機、蒸發器、膨漲閥、制水閥、冷媒與壓縮機等等關鍵零組件，故一旦客戶機台當中有任何模組出現異狀，奇鼎皆能憑藉正常健康的備品，迅速換置失效的模組，而非費時執行現場檢修；此一獨特運作方式，使種種難題得以被快速有效地化解，大幅縮短產線停線時間，把損失降到最低。

鄭智文強調，透過常態性固定服務的實施，不僅有助於了解客戶有無其他衍生需求，並透過與客戶的密集長期互動而增進黏著度，更可與基礎工程師建立良好合作關係，其間所蘊含的未來價值非常高；所以儘管對奇鼎而言，Overhaul服務不見得能快速增裕營收，但依然會認真經營。

總括而論，奇鼎自許為製程微控與微測的Total Solution提供者，迄今已能達到±0.02度的溫控精度及±0.5%的濕度精度，堪稱大中華區的唯一。

更重要的，其積極瞄準德、日、美系主要Tool Vendor，從相關製程設備的改機業務切入，力求在彼此合作過程中展現價值，再逐步爭取成為這些Vendor的合格供應商，此策略方向兼具積極與穩健，截至目前也已開花結果，奇鼎已成為德國半導體塗佈及曝光機大廠的標準溫控配備提供者，也正在接受美系大型半導體製程設備公司的輔導與稽核，爭取成為正式的供應夥伴。