ENTEGRIS推出全新腐蝕性氣體純化器

頂尖的特用材料供應商Entegris Inc.(NASDAQ：ENTG)發表可提升工廠效率的全新GateKeeper GPU(氣體純化裝置)腐蝕性氣體純化器。這款新的GPU腐蝕性氣體純化器採用Entegris的高階媒介，其特殊設計可同時去除18種不同氣體內的濕氣並捕捉揮發性金屬微粒，氣體包括有Cl2、HBr、HCl、CF4、BCl3、SO2和SF6等，有助於提升晶圓產能。

Entegris微汙染物防治部副總Chris Vroman表示：「配管和管線等製程工具的金屬元件所造成的汙染，是腐蝕性氣體內汙染物生成最主要的來源。像是鉻、鐵、錳、鉬和鎳等過渡金屬，還有包括鈉、鈣和鋁等金屬族，都會使CMOS閘極堆疊衰退並縮短承載盒的使用壽命。最新的Gatekeeper純化器媒介搭配內部Wafergard氣體過濾器使用下，可有效過濾這些腐蝕性氣體中的汙染物，避免其產能降低。」

新推出的Gatekeeper解決方案採用全新高階的專利媒介吸收劑，搭配可抗鎳腐蝕的3nm微粒過濾，擁有同級最佳的出口純度(從製程氣體測量)，15ppb揮發性金屬濕氣去除規格，容量為市面上純化器2倍以上，純化器使用壽命更長。GPU氣體純化器可以任何方向安裝，也可安裝在任何的目標腐蝕性氣體輸送系統內，用於乾式刻蝕和磊晶製程。

Entegris為微電子產業與其他高科技產業中位居全球領導地位之特用材料解決方案供應商。Entegris通過了 ISO -9001認證，並在美國、大陸、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、南韓和台灣設有製造工廠、客戶服務中心或研究基地。更多資訊請參閱官網。