工研院自研半導體溶液監測器 打入台積電供應鏈
- 連于慧／台北
工研院研發的「新世代溶液中粒子監測器」扮演半導體業者「鷹眼」的功能，更打破傳統用的光學檢測，提供更多檢測機制，日前更獲得半導體大廠台積電採用，工研院也計劃年底前分割獨立該事業部，與新創公司合資成立新公司。 工研院今年首度進軍...
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