台積嫌貴　ASML急推試用？ High NA EUV傳大打折　9月抵台

繼英特爾（Intel）搶先於2024年4月宣布完成業界首台High NA EUV微影設備組裝後，台積電竹科據點也將在9月底前迎來首台要價約3.5億歐元（約新台幣126億元）新機，較外界所猜測的年底時間點約提前一季。

值得一提的是，台積電副共同營運長張曉強先前曾公開表示：「我喜歡High-NA EUV的效能，但價格實在太貴了。」

然據了解，隨著先進製程技術不斷推進，並與對手群拉開差距，超級VIP台積電面對供應鏈與客戶的議價、供貨能力不斷拉升，首部抵台的High NA EUV微影設備價格遠低於3.5億歐元。

台積電之所以可以享受折扣，主要是ASML明顯讓步，全力協助台積電進機、調校與技術支援等，加速上線時間點，也就是此台主要目的為台積電「試用」。ASML對此則表示，不評論單一客戶

供應鏈表示，張曉強已直言A16製程不會採用High NA EUV，依內部暫定目標來看，最快在改良升級版的A14P世代採用，之後的A10與更先進世代則會全面導入，顯著改善先進製程技術成本與效能。

英特爾、三星電子（Samsung Electronics）與台積電三方交火，2廠皆力圖以High NA EUV設備搶先導入或拉升先進封裝技術等各種方法搶食台積電手上訂單。

其中，英特爾砸下重金率先購入天價High NA EUV設備，於2024年4月搶先宣布位於美國俄勒岡州希爾斯伯勒的英特爾研發基地中，研發人員已完成業界首台High NA EUV組裝。

此台由ASML供應的EXE:5000微影設備，將開始進行多項校準步驟，預計於2027年啟用、率先用於Intel 14A製程，此設備將投影印刷成像到晶圓的光學設計進行改造，明顯提升下世代處理器的圖像解析度和尺寸縮放。

但英特爾近來卻陷入成立以來最大危機，設計產品與晶圓製造部門兄弟爬山各自努力，新一代NB、DT平台全面採用台積電3奈米製程，致使晶圓製造部門面臨拆分、出售聲浪，先前搶下High NA EUV設備入手頭香的氣勢明顯降溫，是否減緩先進製程技術推進與建廠規模，才是各方首要關注焦點。

英特爾陷入亂流，而三星接單不明，能吃得下多少台High NA EUV設備，ASML也難掌握，台積電對於先進製程推進老神在在旁邊觀戰，讓中國銷售受到箝制的ASML相當心急。

據供應鏈表示，不急的客戶最大，台積電掌控絕對市佔優勢與話語權，也是至今EUV設備下單量最多的客戶，隨著半導景氣逐步復甦，3奈米產能滿載與預計2025年第4季量產的2奈米製程客戶訂單陸續落袋，已重啟EUV設備拉貨動能，估計此波新單規模約達70台，既有EUV等新機採購量，再加上應是High NA EUV最大客戶，台積電握有議價優勢。

5月下旬台積電董事長魏哲家與經營團隊前往荷蘭總部拜訪ASML、蔡司等供應鏈的消息主動曝光，據了解，台積電與ASML已就High NA EUV採購取得最後共識。

雙方談判的內容包括：首台High NA EUV設備大砍價成功，且ASML所提供的技術人員教育、後續維修、零組件更換等各項條件與支援度也是再拉升，共同研發費用比重大幅增加。

ASML希望能助力台積電加速製程推進，加快High NA EUV採購計畫上路，目前預計在9月底前陸續送抵台積電竹科研發中心，讓台積電趕快「試用」。

值得一提的是，此一浩大工程已讓台積電著手研擬運送時間、路線，相關運送廠商、保費業績大進補。

此外，ASML也持續擴大投資台灣，林口園區新廠正加速進行中，包含無塵室生產工廠、辦公室、研發中心及物流倉儲，為ASML在台最大規模投資案。

ASML就近服務台積電，也讓供應鏈雨露均霑，如洋基工程就拿下ASML林口新廠統包工程，包含機電及土木工程，總金額近新台幣100億元，而家登、帆宣、公準及汎銓等眾多合作夥伴也跟著訂單落袋。

 
責任編輯：陳奭璁