先進製程分析技術已備妥　閎康扮演半導體客戶堅強後盾

閎康科技董事長謝詠芬表示，閎康長年培養專業人才，可提供完善的半導體先進製程分析服務，對全球產業的研發速度具有絕對的助益。DIGITIMES攝

半導體是台灣經濟命脈，根據工研院IEK Consulting的報告，2018年台灣半導體產業產值達新台幣2.62兆元，全球市佔率將近20%，2019年雖受中美貿易影響導致景氣趨緩，不過在先進製程技術陸續突破以及5G、AI和車用電子市場的帶動下，業界都樂觀看待台灣半導體今年的成長。

閎康科技董事長謝詠芬表示，台灣半導體產業的技術能力仍居於全球領先地位，為強化此一優勢，包括閎康科技在內的台灣半導體供應商都已備妥相關技術，全力支援半導體客戶在先進製程與新應用的發展。

這幾年半導體製程從5奈米進化到3奈米，對半導體分析來說，製程進化對分析技術帶來的最大挑戰在於試片製備。

目前半導體製程中，28奈米到3奈米所使用的電子顯微鏡的影像解析與成份分析技術並無不同，而新製程所需要製備的試片厚度更薄，極薄的試片將面臨幾個問題，首先是變形的機率變大，其次是分析時所用的離子束容易對試片造成輻射損傷，最後是小尺寸試片的影像解讀不易。

要能夠精準解讀，不但需要在學理方面有深厚基礎，還必須靠過去累積的實作經驗，判斷與解釋影像分析時出現的假像(artifacts)，讓分析報告更加精準。針對這些挑戰，閎康利用影像處理軟體與自動量測技術，量測、統計並分析設備產生的原始數據，找出解決方案。

對於半導體先進製程的分析測試服務，謝詠芬指出先進製程會遇到的問題難以預估，因此客戶在研發階段，閎康人員會與客戶同步解決相關問題，像是試片前段的乾、濕蝕刻或原子層蒸鍍(ALD)等化學處理。

由於前段試片的品質會影響最後影像的分析結果，因此在分析程序中，試片的前段處理至關重要，這部分要與客戶一起研發、一起成長，才能獲得客戶信賴，進而取得訂單。

閎康在半導體分析測試服務提供了完整而且先進的服務鏈，當初成立時，其服務除了有晶片前端開發時的電路修補(Circuit Repair)、靜電放電測試(ESD)、可靠度測試(Reliability Analysis)之外，也加入材料分析(Material Analysis)以及故障分析(Failure Analysis)，如此完善的檢測服務是當時業界首創。

現在閎康已是匯整CA、SA、MA、FA、RA等5大領域的分析測試公司，透過不同的分析，服務不同領域的客戶，至於未來市場，謝詠芬則看好5G、AI與物聯網市場。

這幾類市場近年陸續啟動，物聯網已發展了將近10年，最近開始有成功案例問世；AI自2016年啟動，目前也在多種場域中實驗應用；至於5G則是從今年開始有國家商轉，這三大技術市場應用都被認為將改變人類未來的生活型態，而因應新市場所需要的IC，乃至於分析測試項目也都不盡相同。

謝詠芬指出，5G講求高速傳輸，物聯網著重感測與無線通訊，至於AI則需要高效能運算能力，這些特色都對IC設計帶來有別於以往的考驗，而閎康投入CA、SA、MA、FA、RA等不同分析技術，也是為了提供客戶完整的服務平台。

除了上述三大市場公認的革命性技術外，謝詠芬十分看好車用電子的發展潛力，這也是閎康近年來大力投入的領域。目前市場上的車用電子以電動車與自動駕駛為兩大成長區塊。

電動車的核心在於動力系統，由於是由電能驅動，其所使用的IC和電路板都必須經過嚴密的分析測試。自動駕駛的IC分析則是以感測器為主，具備自動駕駛功能的車輛，必須先在車身上建置龐大數量的感測器，然後將擷取的環境數據傳回後端進行即時分析，再將運算結果傳送至控制系統，做出對應動作，在此一系列過程中，負責偵測環境的感測器是整體運作流程的第一步，因此品質相對重要。

閎康在車用電子除了有完善的分析技術外，2019年第3季也在日本汽車重鎮名古屋設置實驗室，就近服務在地客戶。

隨著半導體技術持續突破與新興應用市場的開發，分析服務在半導體領域所扮演的角色越來越吃重，此一產業屬於知識密集型產業，對於從業人員的專業要求非常高，因此自成立以來，閎康不但投入鉅資添購貴重儀器，更不斷積極培育人才，謝詠芬指出，專業人才與技術研發仍會是閎康未來經營重點，以提供客戶最專業的服務。