SK Materials成功量產超高純度HF 3年內提升國產比率至70%
- 杜振宇／綜合外電
SK Materials成功量產半導體製程洗淨用超高純度氟化氫(HF)氣體，將改變南韓全數自海外進口現狀，目標為2023年提高國產化比重至70%。SK Materials也著手開發南韓對外依存度達90%的氟化氬光阻劑(ArF PR)，預定2022年起量產。
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