SMEE 300系列光刻機 進軍LED產業

上海微電子SSB300/10A步進投影光刻機，適用於2-6英吋基底LED的PSS和電極的光刻工藝。

致力於投影光刻機研發、生產、銷售與服務的上海微電子裝備有限公司(SHANGHAI Micro Electronic Equipment；SMEE)，日前來台參加半導體展，展出用於封裝以及LED產業光刻機設備。

此次半導體展，上海微電子裝備有限公司展出SSB500系列步進投影光刻機，基於先進的步進光刻機平臺技術，提供覆蓋IC後道封裝、MEMS/NEMS製造的步進投影光刻機。該系列光刻機採用ghi線的高功率汞燈作為曝光光源，其先進的逐場調焦調平技術對薄膠和厚膠工藝，以及3D-TSV結構等具有良好的自動適應性，並通過採用自主專利的圖像智慧識別技術，無需專門設計特殊對準標記。該系列設備具有高解析度、高套刻精度和高生產率等一系列優點，可滿足使用者對設備高性能、高可靠性、低使用成本(COO)的生產需求。

另外，也展出SSB300系列步進投影光刻機，該系列機台適用於2~6英吋基底LED的PSS和電極的光刻工藝。可以應對大翹曲藍寶石基底的曝光，能夠實現2~6英吋基底的自動切換，能夠在生產中即時監測基底面型，保證客戶在使用過程中不再受吸盤污染的困擾。採用高性能縮減式物鏡確保亞微米解析度和高曝光均勻性、精密特製運動台系統實現高精度的圖形拼接與精確的套刻。具有低使用成本、高曝光均勻性、高產能等特點，可滿足LED生產線的各種使用要求。除此之外，該系列機台還能夠適應矽和SiC等多種基底的曝光、可選背面對準配置，將機台的應用擴展至MEMS領域。

上海微電子裝備有限公司成立於2002年，公司產品可廣泛應用於IC製造與先進封裝、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、Power Devices等製造領域。上海微電子裝備有限公司致力於以極致服務、創造高端產品、創造客戶卓越價值，全方位為顧客提供優質產品和技術服務。

上海微電子裝備有限公司已通過ISO27001資訊安全、ISO9000品質管制和ISO14001環境管理等體系的國際認證，力求為客戶提供持續 、穩定、高品質的產品和服務，並履行一個優秀的高科技企業的社會責任。目前已建立了一整套與高科技企業相適應的智慧財產權管理體系與機制，先後被評為「上海市專利工作和智慧財產權示範企業」、「全國企事業智慧財產權示範創建單位」。