除檯面上EUV曝光機 台積電、三星傳暗搶兩種設備
- 范維君／綜合報導
為了在先進製程搶得先機，傳台積電、三星電子(Samsung Electronics)積極拉攏ASML，確保極紫外光(EUV)曝光機供應無虞。然除EUV曝光機外，先進製程中尚有一些被忽略、但也是獨家供應的關鍵設備，最具代表性的有多電子束光罩寫入(writer)及光...
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