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Flash技術的現在與未來

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旺宏電子,處長,謝光宇。
旺宏電子,處長,謝光宇。

記憶體在我們的生活中,應用已經十分廣泛,旺宏電子謝光宇處長在演講一開始就指出,包括手機、筆記型電腦和USB、MP3播放器、可戴式Gadget、電子寵物等,都使用了20GB到100GB不等的記憶體,記憶體應用無所不在。
快閃記憶體技術和市場概況

電晶體在1947年由貝爾實驗室發明,70年發展下來,最大的特色就是愈來愈小。IC的演化也是,1950年代IC問世時,一顆大大的MOS元件,只有幾顆電容、電阻和電感。1979年英特爾8086在16平方厘米有29,000顆電晶體,採用3微米技術,4.77-10 MHz運算。2008年英特爾的Core i7已進展到45奈米技術,在263平方厘米有7.31億顆電晶體。Gordon Moore在1965年提出著名的摩爾定律:每平方英尺的電晶體數目,在每18個月將會倍數成長。

將時光退回至1970年代,若要製造一個iPod需花費25億美元,且電晶體的數量,需要當時全世界電晶體總產量的10倍才能滿足,而全球電晶體的產量直到1973年,才終於足夠支援1個iPod的產品。

半導體記憶體家族包括揮發性的RAM和非揮發性的NVM,其中NVM技術以浮動閘(Floating Gate)技術為主流,正在發展的技術為SONOS-Type,未來更新的技術則為Emerging和ROM & Fuse。

NOR Flash的記憶體架構為並連模式,可解讀為一棟透天的房子,讀取快、隨機取樣快。NAND Flash的記憶體架構為串連模式,可解讀為高層公寓,好處是可以住很多人,缺點是大家都往門口跑,速度就會很慢。應用上,NAND Flash以資料儲存為主,NOR Flash則以碼(Code)為主。市場趨勢方面,隨著各種消費性電子規模愈來愈大,NAND Flash大致呈現穩定成長,NOR Flash的需求則緩步減少。

技術方面,NAND Flash技術,國際大廠包括英特爾美光、三星、Toshiba、Hynix等,競逐激烈,2D平面記憶體平均每12~15個月,技術即需跨越一個世代。

快閃記憶體技術挑戰

以主流技術Floating Gate Cell而言,面臨的問題包括底層氧化層的空間受限問題、耦合干擾問題、很難縮小尺寸(Scaling)(製造上的問題)、在小Cell尺寸中具備較少的電荷。

進一步說明,底層氧化層太薄,會產生量子效應的問題,因此要有必要的空間,不能小於8nm。耦合干擾則會讓資料儲存分布出問題,進而影響可靠度。在2個Floating Gate之間若空間太窄,間隙間的控制閘金屬很難填入,因此最小空間不能低於40nm。

因此,針對Floating Gate技術的問題,干擾問題的可能解決方案為ECC和控制器。地理上的限制可能可以電荷捕捉(charge trapping;CT)裝置解決。Floating Gate之間太窄的問題可能可以3D (CT)陣列來解決,以堆疊的方式增加密度。MLC電荷數太少可能可藉由3D (CT)陣列來解決或使用新的記憶裝置。

Charge trapping為聚合矽(Poly-Si)、氧化層(Oxide)、氮化物(Nitride)、氧化層(Oxide)、矽基板(Si Substrate)的堆疊,稱作SONOS。SONOS為平面架構,1967年即已發明,後續原本並沒有受到重視,直到最近才又被重新撿拾。SONOS裝置及問題為:電荷被捕捉到SiN,離開(De-trapping)十分緩慢,必須使用消去電荷或導入電洞的方式,並不容易,需要很薄的氧化層。

另一種方法是設障礙或高K/MG,三星使用TANOS方法。旺宏採用BE-SONOS方法,產生量子井,加電壓和不加電壓讓電洞進入或出去,後來引用三星的方式並加以進化,氧化層採用Al2O3,改良後產品表現更佳。

尺寸較大時可以儲存較多的電荷,愈小愈少,到現在要求極小時,儲存電子數減少,會產生無法判別幾顆的狀況,機制就產生問題。CT 3D是一個解決方法,包括三星、旺宏和Toshiba分別在2006和2007年提出相關技術,Toshiba的BiCS技術是一個成本相當低的方案。例如若以8層堆疊,採用3D Stacked NAND需要67層光罩,BiCS則僅需要28層。

快閃記憶體新方向:3D VG-NAND Flash、PCRAM和ReRAM

主要的3D技術廠家包括三星的TCAT、VSAT技術,Toshiba的P-BiCS技術和旺宏的VG(垂直閘Vertical Gate)技術。3D技術所面臨的挑戰為尺寸問題,其中除了VG技術外的其他3種技術都只能做到約50奈米,VG可以做到2x奈米。

相位改變記憶體PCM (Phase Change Memory)需要足夠的高程式化電流,解決方法為減低RESET電流,例如減少體積、接觸面積、更新熱源結構。或強化驅動器能力以加大電流。

ReRAM(Resistive RAM)則以加減電壓的方式改變電阻,旺宏採用金屬氧化物方式。ReRAM可以改變尺寸、耐久性和持續性,和PcRAM一樣,都是具潛力的技術。而3D技術則肯定成為下一代的重要快閃記憶體技術發展方向。