兼顧產能良率與減碳 鈺祥擴大台灣半導體客戶優勢

鈺祥總經理莊士杰表示，鈺祥的濾網在AMC過濾表現更居於業界之冠，為強化技術，鈺祥也與工研院合作研發。鈺祥

近年來氣候劇變，為讓上升溫度控制在1.5°C內，聯合國政府間氣候變化專門委員會(IPCC)指出2050年全球須達到淨零排放目標，方能防止狀況繼續惡化，此目標現在也成為多數國家與產業共識，目前已有超過300家大型企業會員參與RE100倡議，歐盟更已明確訂定「碳邊境調整機制」時程，台灣做為全球製造產業重鎮，在製程減碳必須與國外同步，方能順利成為產業供應鏈的一員。

在微污染氣體過濾防治已有33年經驗的鈺祥指出，經濟與環保以往是製造業的兩難，尤其是製程環境對空氣微粒子忍受度極低的半導體產業，更需同時兼顧產能良率與社會責任，此困境將對營運帶來重大挑戰，不過近年來環保技術已大幅精進，鈺祥所推出的微污染氣體過濾解決方案，就可讓半導體業者在提升良率的同時，落實環保減碳願景。

製程快速精進 AMC影響良率至深

現在半導體的資本投資漸高，良率對營收的影響逐步放大，然而現在半導體製程已從以往的100~200道，快速增加至逼近400道，當整體過程愈來愈繁複，影響良率的因子也就更多，因此要讓良率維持以往的標準，所有環節都必須同步跟上，尤其是在製程中扮演關鍵角色的等AMC(氣體性分子污染物)控制設備，更需強化效能。

鈺祥總經理莊士杰進一步指出，AMC控制本就是半導體製程的重點。由於晶片上的線路細微，AMC粒子將嚴重影響其電性運作，尤其是部分AMC帶有硫、鹽等化學成分，若與晶片接觸，將可能阻礙電路運作，甚至導致線路腐蝕，造成晶片失效，產線良率也會因此下降，尤其是近年半導體尺寸快速微縮，AMC粒子的體積已與晶片線路寬度相當，因此在先進製程中，上述問題的影響將更為巨大。

除了防止外來空氣的汙染外，半導體製造業也須降低對外排放氣體中的AMC，莊士杰表示，半導體製程中會使用大量特殊氣體，為避免使用過的氣體影響週邊環境，業者從以前就會透過各種過濾技術，避免造成空汙，近年來半導體產能快速增加，所使用的氣體數量漸多，再加上社會的環保意識抬頭，法規制定愈來愈嚴格，這些都讓空汙問題更為棘手。

為了解決上述問題，半導體業者在早期就導入各種控制技術降低廠內外AMC汙染。目前半導體業者的AMC過濾作法是透過3∼4道濾網進行防護，透過防酸、防鹼、防有機物的三合一材質過濾AMC，不過此一作法不僅效益不彰，也會讓半導體製造成本居高不下。鈺祥表示，濾材對酸、鹼、有機物的飽和程度不一，在三合一的濾材中，只要其中一種飽和整套濾紙就必須汰換，在產量提升下，這些累積起來的浪費相當可觀。

為了解決此問題，鈺祥推出模組式AMC濾網，此產品包括兩組有機物濾片與一組酸性濾片、一組鹼性，自此架構中，半導體業者僅需更換其中飽和的濾網即可，不僅降低汰換成本，模組化設計也可縮短濾網的更換時間，降低對產能的影響。

除了協助半導體業者縮減成本外，鈺祥的濾網在AMC過濾表現更居於業界之冠，為強化技術，鈺祥與工研院合作，藉由工研院技術轉移所成立的實驗室，讓鈺祥大幅強化AMC過濾效能，若從單一濾網來看，一片濾網所增加的效能或許有限，但如果是多道防護，相乘後的效益就相當顯著，例如現在市面上的濾網防護效率是90%，四道濾網下的AMC可侵入機率是萬分之1，而鈺祥的濾網防護效率為95%，四道濾網的AMC可侵入機率就被縮減至625萬分之一，其差距可見一斑。

除了濾網外，鈺祥也優化濾網外框的設計。以往的半導體業者常用的濾網外框多為鋁材，單一外框的重量高達2公斤，一座半導體廠每年須廢棄的濾網高達2萬個，所需處理的外框數量十分驚人，對此鈺祥將外框重新設計改善，讓外框可在不影響過濾效果的前提下重新使用，以循環經濟方式達到物盡其用的目標。

在強化濾網、框架效能的同時，鈺祥也不忘降低自身產品製造過程的碳排，鈺祥現已在產線中建立生產履歷，記錄每一環節的碳足跡，並透過數據的追蹤與分析優化製程，讓碳排放量降到最低。

在強大過濾技術的支援下，鈺祥不僅為半導體業者提供AMC數量極低的清淨空氣，同時也減少了大量的碳排，根據官方認證，到2018年，鈺祥所減少的碳排放量，約等同10座台北大安森林公園樹木所能吸收的二氧化碳。

產能充足供貨無虞 鈺祥善盡保護客戶責任

近年來半導體產能快速擴大，製程設備的市場需求也隨之提升，作為半導體製程關鍵設備的濾網設備開始出現供不應求狀態，莊士杰表示由於早期就已備妥產能，並與原料供應商建立起深厚的長期合作關係，因此在這段市場缺貨期間，鈺祥仍能隨時供應產品，讓客戶不會因為濾網因素影響產能。

充足的產能與先進濾網技術不僅讓鈺祥成為國內半導體客戶的最佳夥伴，同時也吸引了其他國家半導體業者的注意，曾有他國業者開出高價採購鈺祥產品，不過由於濾網設備與半導體製程息息相關，外銷的設備規格與數據有可能透露原有客戶的製程機密，因此鈺祥在保護客戶的前提下斷然拒絕此訂單。

為了擴大服務觸角，鈺祥積極與不同領域的業者展開策略聯盟，近期就與漢民合作，由漢民總代理中國大陸市場。除了半導體市場，鈺祥也透過代理商將AMC控制解決方案導入至中油與台塑的工廠內，協助這兩家台灣大型化學業者提升產能與良率。

放眼未來，減碳已成為全球產業的共同趨勢，而過去減碳與經濟發展往往會相互牴觸，鈺祥在AMC控制與循環經濟的技術，將可協助半導體業者在提升產能、增加營收的同時落實環保目標，與客戶攜手邁向2050淨零碳排目標，創造經濟與環境雙贏榮景。