SK研發高厚度KrF光阻劑 強化3D NAND製程競爭力
- 江承諭／綜合報導
SK集團（SK Group）於2020年初以400億韓元（約3,096萬美元）收購錦湖石油化學電子材料事業部門，成立SK materials performance（下稱SKMP），並成功研發高厚度氟化氪（KrF）光阻劑（PR）。近期通過SK海力士（SK H...
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