何以台積電不急於導入High-NA EUV設備？
- 楊智家／綜合報導
英特爾（Intel）2024年1月5日宣布，收到ASML出貨的高數值孔徑（High-NA）極紫外光（EUV）微影設備的主要組件，希望成為未來幾年全球首家以高數值孔徑EUV設備大規模生產晶片的公司。對此外界分析，相較之下台積電不急於短期內採用高數值孔徑EU...
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