周星三五族ALD設備3年內商用化 新技術動搖半導體市場
- 范維君／綜合報導
南韓半導體設備企業周星工程（Jusung Engineering）預計3年內，實現氮化鎵（GaN）和砷化鎵（GaAs）等三五族半導體的原子層沉積（ALD）設備商用化。這項備受業界關注的技術，可望克服矽（Si）半導體微縮極限。綜合韓媒E...
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