大銀微系統定位平台贏得台灣優良評價

大銀微系統研發之LMAP空氣軸承定位平台

由大銀微系統所開發「平面顯示器檢測定位平台」與「次微米平面顯示器檢測定位平台」，能有效降低國內FPD產業對進口設備的依賴性，落實LCD製程設備與技術的自主性。

大銀微系統的「平面顯示器檢測定位平台」為G5~G10面板電子束檢測設備，龍門同動驅動平台，真空用線性馬達﹝磁浮馬達﹞驅動，最大推力可達1056N，而平台移動速度最大為2.8m/sec，可應用於無塵等級Class 100的面板、半導體精密量測儀器及檢測設備上。目前為美國知名面板設備廠肯定與採用，已陸續出貨給日南韓際知名面板大廠。

而「次微米平面顯示器檢測定位平台」為G7~G8面板超精密量測設備，採用非接觸式線性馬達直接驅動，也就是採用自行開發之空氣軸承來消除定位運動過程中的摩擦力干擾以及提升運動過程中之穩定性，配用非接觸雷射光學式位置回饋，並搭配主動式平台避震，達到奈米級超精密的定位需求。可應用於無塵等級Class 100的面板、半導體精密量測儀器、檢測設備與面板、半導體曝光設備。

做為台灣唯一線性馬達專業製造廠，大銀微系統創立於1997年，致力於精密線性傳動與定位控制之相關元件、系統件乃至於設備之研發與製造，完整的產品系列包括各式步進、伺服線性馬達、直驅式定位平台，醫療級、一般工業用與消費性產品之線性致動器，磁性尺量測系統及高速、高精度之定位平台等，產業應用層面擴及光電產業、半導體工業、生技醫療、精密自動化等領域。大銀微系統具備跨部門的創新研發能力與自動化製程能力，掌握關鍵機構元件的自製，在SEMICON展世貿一館攤位B694做展示。