志尚儀器開啟半導體線上微污染監測設備的新紀元

近年來志尚儀器為了不斷的追求品質目標以提供客戶最佳的售後服務，不僅於2006年首先通過ISO9001認證，之後又率先於2008年成立 ISO 17025 認證暨TAF第1936號氣體流率(Flow Rate)與氣體偵測器(Gases Monitor)校正實驗室以提供客戶最優質的氣體流量計或校正器之校正與可燃性/毒性氣體偵測之校正服務，2009年開春志尚儀器更傳來該公司所成立的全台第一家微污染氣體分析實驗室(AMC Lab.)也以獲得 ISO 17025 的認證暨TAF第1992號實驗室認可。

此外更積極與學術界進行技術轉移及交流，2010年有幸獲得國立交通大學蔡春進教授的首肯同意與敝公司進行技術合作，並將已獲得中華民國專利的Denuder 技術作技術轉移，以便與 ISO 17025 實驗室結合開發出新一代的 AMC 分析儀。

交通大學蔡春進教授對於平板式濕式分離器已有多年的研究經驗，而蔡教授最近也已獲得中華民國第 I327641 號專利，該平板式濕式分離器專利包含此平板式濕式分離器之用於連續式採樣及分析之系統及用於將氣體吸收及氧化之設備開發了一種高效率的平板式濕式固氣分離器(Parallel plate wet denuder, PPWD)以改善現今國內煙道酸性氣體標準採樣方法的缺點，有助於提升採樣分析的方便性及準確性。

本公司有此榮幸與蔡教授合作並獲得美國Dionex 公司全力支援該公司的線上 IC離子層析儀系統，並結合志尚儀器自行生產的多點採樣系統及 ISO 17025 認證實驗室的品管掌控，而推出最新一代的半導體AMC線上離子層析儀監測設備。本設備於實驗室中曾以VICI公司滲透管所產生之HF氣體作為測試氣體，滲透速率為109 ng/min±25% ( 30℃)，每個平板的去離子水吸收液流量為1 cc/min，採樣時間為15分鐘，氣體流量為5~10 L/min。氣體由吸收液吸收後，利用IC離子層析儀進行吸收液的樣本濃度分析，並據以計算PPWD的吸收效率。

實驗結果顯示若玻璃平板為光滑的平面玻璃，即使經塗敷TiO2再配合UV光照射，形成的水膜仍不均勻，氣體吸收效率因為部分乾掉表面的槽道效應而僅約為25%。若利用多孔玻璃平板塗敷TiO2再經UV光照射，結果發現其表面親水性佳、水膜均勻，當氣體流量為5L/min、7 L/min和10 L/min時氣體吸收效率分別為105.36%±9.06%、96.76%±1.57% 和0.33%±4.63%，其實驗結果與理論吸收效率相符。

志尚儀器所獲ISO 17025認證的微污染分析實驗室，主要就是考量以往在半導體微污染分析的領域往往由於採樣或分析的手法不同造成對分析結果有所疑惑，而志尚儀器微污染氣體分析實驗室(AMC Lab.)的成立就是希望能提供半導體相關客戶一個可靠的採樣分析實驗室。志尚儀器的微污染氣體分析實驗室是根據相關SEMI的標準並依據EPA或NIOSH的採樣或分析方法提供有關半導體業常見的鹼性(Ammonia/Amines)或酸性(氟/氯/溴離子、硫酸/亞硫酸根離子、硝酸/亞硝酸根離子…等)氣體ppt到ppb的分析範圍服務。此外該實驗室也結合志尚儀器另外兩個ISO17025實驗室(氣體流率及氣體偵測器校正實驗室)，更能確保在採樣時採樣系統流率的正確以及相關標準氣體的準確配置，以便提供客戶最佳的微污染氣體分析服務。