永光化學LED正負型光阻劑 已成兩岸客戶首選
- 李佳玲
永光化學於1995年投入電子化學品技術研發,是唯一國產IC光阻劑供應商,歷經16年不間斷的創新研發建立自主技術,已在半導體黃光微影製程化學品供應鏈上扮演相當重要的角色。永光在2011年半導體展期間,在世貿一館884攤位展出半導體以及LED領域相關應用產品。
永光總經理陳偉望表示,回顧2010年,永光化學除了持續開發IC製程關鍵化學品,也成為LED產業製程關鍵化學品的主要提供者。
近1年來,智慧型手機(Smartphone)與平板電腦市場的大幅成長,也刺激帶動晶圓代工及相關產品需求,根據工研院產經中心之產業年鑑顯示,2011年全球IC產值預估達3,137億美元,較2010年成長4.5%;台灣在晶片市場、驅動IC及晶圓代工方面,總產值預估較2010年成長8.7%。
陳偉望指出,為因應半導體先進黃光微影製程需求,永光化學推出幾款相對應產品:EPG 535光阻劑,是1款G-Line (4吋、6吋廠)、I-Line(8吋廠)通用的光阻劑,其具有耐熱性佳、附著性佳、高感光性(較低的曝光能量)、較大的製程寬容度,在製程上比較容易加工以及高解析度等特性,其解析度可達0.48μm。
另外,EPG 590光阻為正型厚膜光阻劑,主要供貨給太陽能矽晶圓廠以及被動元件廠商,其具有高穿透性、附著性佳等特性,可應用於10~50μm光阻膜厚的金與銅之電鍍製程,以進行金凸塊或銅線路的製作。在不同的蝕刻製程下,光阻圖形皆能展現不脆裂與高解析的優點。
EPI 680光阻是一高感光性的I-Line的光阻劑,應用在保護層(Passivation Layer),具有較大的製程寬容度,其解析度可達2μm,目前已推廣到數家晶圓代工廠。
陳偉望表示,有鑑於LED在顯示器背光源以及照明市場龐大商機,永光比同業更早切入LED光阻產品的研發與供應,加上擁有半導體優異技術設備,LED正負型光阻產品在兩岸市場已成為客戶首選。
永光化學目前已經具備LED完整的上中下游完整的供應能力。不僅從上游基板的拋光研磨液,到中游光阻劑、顯影液等製程化學品供應,及下游封裝製程也積極推出關鍵封裝材料。
近年來LED照明朝高亮度發展,永光電子化學推出EPI 612光阻劑,應用在藍寶石晶圓表面圖案化PSS(Pattern Sapphire Substrate),其解析度可達0.64μm。將藍寶石基板的表面蝕刻圖案化之後,可有效提升LED的發光效率,降低LED發光成本。
因應2011年IT市場的需求量放大,帶動LCD面板驅動IC的成長,而驅動IC的封裝主要是使用在LCD COF(Chip on Film)的製程技術,面對愈來愈薄型化、軟板線路愈來愈細情況,永光化學推出FSR 110光阻(正型光阻劑),符合業界通用型1% Na2CO3或0.1% KOH顯影系統,其解析度可達5μm的高解析度、高感光性(較低的曝光能量)、較大的製程寬容度等特性。另具有可撓性與良好附著力,因此可以塗佈在軟性基材上,是一款適用在高階手機、高階面板驅動IC用的高階產品。永光已經提出該項產品專利申請,目前產品已進入客戶量產驗證階段。
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