高階製程產生多種有毒氣體 有賴持續監測控制

交通大學環境工程所講座教授蔡春進。

由於空氣汙染與肺癌、肝癌有高度的相關性，早在2013年國際癌症研究中心已將室外空氣污染物列為第一級致癌物。而隨著高科技產業持續邁向高精密製程，加上全球都市化程度日深，根據WHO研究報告指出，2018年約有700萬人因暴露在空污微粒之中而死亡。為此，各國政府早在多年前即制定相關法規，台灣亦在2012年增訂PM2.5空氣品質標準，也讓空氣品質逐年獲得改善。

交通大學環境工程所講座教授蔡春進指出，根據環保署統計資料顯示，台灣細懸浮微粒成份為硫酸根、硝酸根、銨根、有機碳及元素碳等，部分源自於境外傳輸，其餘則為工廠、車輛及其他污染源。由於高科技產業的高精密製程，會產生各種酸鹼廢氣、有機溶劑廢氣及毒性/燃燒性氣體等等，業者若沒有針對設備進行監控與處理，勢必會危害到員工與一般民眾的健康。

因應空氣污然日益嚴重，市面上氣體檢測工具也持續進步，如新世代氣膠儀器可連續自動監測、手動採樣等功能，除可量測質量濃度、數目濃度、化學成份外，也能稱重得質量濃度，後續做化學分析等。若要對酸鹼氣體進行24小時長期監測，則可使用平板式濕式分離器(PPWD)，搭配線上即時化學成份分析系統，即可獲得大氣酸鹼氣體及PM2.5微粒水溶性離子的濃度。