半導體CVD材料一條龍生產營運公司─南美特科技
- 吳冠儀
南美特科技股份有限公司係南帝化工(台南紡織集團)與美國凱美特電子材料公司(Chemat Electronic Materials, LLC)技術合作的轉投資企業,於1998年正式進駐於高雄楠梓加工區,為台灣致力於發展半導體化學氣相沉積材料的本土公司,專業研發及製造各種先進CVD/ALD材料。
經過14年來持續地研發創新,南美特科技已成為全球少數能提供從前段(合成/純化/分析)製程整合至後段(裝填包裝/容器製造/閥件維修)完整技術服務的高科技先進材料公司。位於高雄之製造工廠面積廣達29萬平方英呎,生產之CVD產品早已獲得絕大部分半導體製造公司的品質認同及採用,於歐美日國際大廠環伺的半導體材料市場亦已佔有相當之市場。目前客戶群橫跨歐、美、亞3洲並逐步開始建構國際行銷網路,加強促進與國際接軌。
南美特科技在半導體產業擁有多年的研發製造及供應經驗,於半導體新製程材料方面,產品系列已擴展至半導體奈米製程之Low-K (Carbon doped SiO2)、High-K(Al2O3, HfO2, ZrO2)、Metal Gate(Al, Ti, Ta, La)等先進ALD/CVD Precursors。因應客戶需求與綠能產業發展趨勢,南美特亦積極拓展產品線至化合物半導體、太陽能,及LED應用,相關產品除已獲得多家台灣大廠驗證採用,2011年更獲得經濟部科技研究發展專案通過,將與台灣各研究大學及客戶共同開發次世代封裝材料。
南美特科技於2002年獲經濟部表揚中小企業SBIR計畫績優執行廠商;2008年再獲頒經濟部中小企業創新研究獎。目前於新竹、台中,及台南均有經驗豐富之技服工程師就近提供客戶24小時最即時的服務。未來南美特科技將持續以堅強的研發與技術服務陣容,佐以嚴謹的製造與品質系統,和客戶攜手合作共同成長。期望以精銳的產品、滿意的技術服務,協助客戶掌握時代變動的契機,共同創造更光明豐碩的未來。
南美特科技產品介紹:
1、Dielectrics PMD/IMD:TEOS、TEPO/TMPO、TEB / TMB。
2、Low K Dielectrics:4MS、OMCATS、TOMCATS、DMDMOS、DEMS/ ATRP/ BCHD、New CVD Dense Low-k Smart– K 2.2。
3、High K Dielectrics:TAETO(Ta2O5 Precursor)、TEMAZ/ ZrCl4(ALD HfO2/ZrO2 Precursor)、TMA (Al2O3 Precursor)、TMGa、DEZn、STO/ BST/ PZT Precursor、GST Precursor、SiCl4/ 3DMAS (Hf and Zr based silicates)。
4、Metal Gate and Interconnect Metal:TDMAT / TDEAT (CVD/ALD TiN Precursor )、TiCl4 ( Ti / TiN Precursor )、TBTDET, PDMAT (ALD TaN Precursor )、Al precursor – DMAH, TMA, MPA, TMAAB、Cu ( I ) / Cu ( II ) Precursor。
5、Low-Temp Nitride/Oxide:BTBAS、HCDS、3DMAS 、SAM.24、LTN/ LTO Precursor。
6、Solar Cell:POCl3。
7、LED:TMA、TMG、TEG。
南美特科技於2011 SEMICON TAIWAN台北世貿1館,攤位號碼C1186隆重登場,誠摯邀請蒞臨現場參觀。
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