環保意識抬頭 先進科材推DfE標章產品
- 連于慧/台北
先進科材(ATMI)宣布旗下新產品「iCleaner」通過美國環境保護局(Environmental Protection Agency;EPA)認證,獲得「環保設計」DfE(Design for Environment)標章,這是半導體產業首度獲得環保標章的化學產品。
先進科材是半導體材料和高純度材料處理和運送解決方案廠商,協助半導體、面板和Life Science產業推動製程效率。
先進科材日前表示,旗下的「iCleaner」產品是專為半導體製程中的清洗流程所設計,日前該產品獲得美國環境保護局認證頒獲「環保設計」DfE標章,是半導體產業首度獲得環保標章的化學產品。
先進科材指出,身為產品工程創新者和半導體產業材料和包裝業者,協助發展產品設計都結合兩個核心原則,分別為「綠色工程的12個原則」和「綠色化學的12個原則」。
先進科材也指出,研發團隊透過旗下的高效率研發設備(High Productivity Dev elopement)和「12個原則」方法,發展出低臭味和對環境無害的配方,圖繩也兼顧高效率和低成本的線上清洗方式,對於基準清潔(Baseline Cleanliness)對積體電路製程環境而言,也是關鍵的部分。
先進科材進一步指出,隨著電子產品的外型尺寸開始追求輕薄短小,對於晶圓處理環境中的晶圓表面和其他表面的清洗更為關鍵,除了安全和環境考量之外,與過去方法相比,該產品強化的清洗效能在不影響良率的前提下,不但可提升生產率,更對製程無其他負面影響。
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