液空集團電子事業 強化高介電常數鋯基介電材料之前驅物專利組合

亞東工業氣體法國母公司液空集團(Air Liquide)全球電子事業，宣布中國國家智慧財產權局已授予ZyALD在半導體製程應用相關的專利權。這是繼最近於包括南韓、新加坡、台灣和一些歐洲其他國家之後所取得的專利許可，也預期即將在其他司法管轄區獲得有利的結果。ZyALD和其他類似的分子在高k值沉積上的使用，現今在全球已被11個專利權、與13個待審核的專利案所涵蓋。

ZyALD–三(二甲氨基)環戊二烯基鋯，在授權專利所涉及的分子中是一個關鍵的鋯前驅物(官能分子)。其設計成能夠於半導體製程中使高溫的原子層沉積(ALD)用來沉積鋯類電介質。2006年首次向業界推出，ZyALD現已成為全球DRAM製造中高介電常數k值前驅物的主流，取代傳統在高溫下無法提供所需功能的分子。ZyALD也可應用於BEOL的MIM結構和E-DRAM的高介電常數層的形成。

憑藉其優越的物理化學性質，包括其高揮發性、熱穩定性和較高的成長速度，ZyALD提供簡易的替代方案，不僅使終端用戶能夠從傳統的化學材料順利地進行轉換，且同時因製程的製程窗增大而受惠。

ZyALD於液空集團的ALOHA製造中心製造生產，ALOHA製造中心分別位於加利福尼亞州(美國)、夏龍(法國)和筑波(日本)，以服務全球客戶群。為因應先進半導體製造的挑戰，ALOHA產品線前驅物，協助提高微電子製造中使用的薄膜材料電子和機械性能，加快各種新興應用。

ALOHA產品線包括用於次45奈米元件製造的CVD和ALD先進前驅物，其產能範圍從噸級的矽前驅物與高介電常數材料，小至克級的實驗性研發產品。ALOHA前導物為一個完整的產品包裝，包括超高純度鋼瓶、由世界一流的液空BALAZS專業分析專家所保證之嚴謹的規格、與在使用的同時，獲液空集團的智慧財產權授權。

液空集團電子CTO將馬克吉哈德(GIRARD, Jean-Marc)表示，液空集團致力於為客戶帶來創新的產品，使他們更能面臨製程需求的挑戰。ZyALD是一個ALOHA所推出非常成功的產品，液空集團電子對於R&D的持續投資，將能帶來更多獨特的產品以推向市場。

法國液空集團是工業、醫療保健及環保專用氣體的世界級領導者，分公司遍佈80個國家，擁有近50,000名員工。液空集團在1902年成立之際，即以氮氣、氧氣、氫氣和各種稀有氣體為核心業務；並且善用這些氣體，不斷的開拓及發展業務，為滿足現在及未來市場的需求做準備。集團以追求社會更美好的生活品質做為創新的目標，同時帶動積極成長以及持續的卓越績效。

創新的技術減少污染的排放量，降低工業的能源使用量；讓我們得以回收或重複使用天然資源，並且發展氫氣、生化燃料或太陽能等未來能源，以及醫療、居家照護和抵抗院內感染用的氧氣等等。液空結合各種產品與科技，為客戶開發有用的應用與服務，並對社會貢獻良多。

長期的夥伴，液空集團仰賴員工的承諾、客戶的信任和股東的支持，以追求永續經營與具競爭力成長的願景。液空集團在團隊成員、業務活動、市場及全球布局的多元化表現，奠定了永續經營的穩固基礎，並且強化了自我突破的能力，擴大版圖，開創未來。

法國液空集團抱持實現企業社會責任及永續經營的一貫做法，開發氣體的極致運用，保障人類的生活品質。於2012年，集團的營收達153億歐元，其中82%來自於法國以外地區。液空集團在巴黎泛歐證券交易所上市(A類)，是CAC 40指數和道瓊斯歐元區斯托克50指數的成員。