Entegris

英特格(Entegris)為半導體材料與耗材大廠，供應晶圓廠前段製程與無塵室環境控制、晶圓運送等材料、耗材，自2005年至今，已連續與Mykrolis、Surmet、Poco Graphite、Pureline與Jetalon Solutions等半導體材料、氣體與技術供應商合併，2013年營收達6.93億美元，2014年以11.5億美元併入ATMI後，預計全年營收將可進一步超過10億美元。

英特格在竹科設立生產據點，主要生產半導體製程CMP slurry用濾心、銅製程及淺通道隔離製程CMP slurry用濾心、濕式蝕刻製程及相關清潔用化學品用濾心與晶圓廠用化學氣體濾網等產品。

英特格宣布在竹科成立全球第二座新分析服務實驗室，主要用來測量無塵室環境內的空氣分子汙染(AMC)，和提供OEM公司惰性氣體供應材料內除氣的檢測標準、故障排除以及在光學蝕刻應用的延伸。此實驗室將在9月起開始運作。(王怡苹)