微光機電系統

微光機電系統(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems；MOEMS)是新型封裝器件的重要技術之一，MOEMS產品的複雜程度較微機電系統(MEMS)更高，將晶片置於密閉的封裝內，以防止敏感的光學器件受到外界光線影響。

但難度在於必須留出一條光通道，並在需要在封裝內設計一個導光蓋，大多採用陶瓷或金屬以確保良好的密封性能。數位微鏡面器件是當前最複雜的商業化MOEMS產品。MOEMS的領域可以從微光學、微電子與微機械3個領域之間的關係來理解。

微光學與微電子的交集為光電領域(OptoElectronics)；微光學與微機械的交集則為光機領域(OptoMechanics)；而微電子與微機械的交集則是微機電系統領域。而微光機電系統領域就是三者的交集，或稱為光學微機電系統(OpticalMEMS)。

微光機電系統與常規系統相比，具有體積小、重量輕、與大規模集成電路的製程相兼容，易於大批量生產，成本低等顯著優點。

同時，感測器、信號處理電路與微執行器的集成，可使微弱訊號的放大，校正以及補償等在同一晶元中進行，不需要經過較長距離的傳輸，這樣能極大抑制雜訊的干擾，提高輸出訊號的品質。

因此，微光機電技術的應用已經深入到許多不同的應用領域。目前，不但完成了一些小型化、集成化和智慧化的光學系統，而且導致了新一代零件的誕生，如光學神經網路晶元、MOEMS光處理晶元等。(江凱狄)