環保組合式濾網 半導體廠高效管控AMC且降低碳排衝擊

濾能技術長游議輝。DIGITIMES攝

許多半導體廠邁向智慧化的過程中，開始發現環境中存在肉眼看不到的微污染物，它們懸浮在空氣中，對產品造成莫大傷害，但傳統HEPA或ULPA等過濾方式卻難以有效去除；因而亟思在廠區內佈建智慧化管控機制，以解決AMC(Airborne Molecular Contamination)問題。

濾能技術長游議輝表示，隨著半導體先進製程的發展，透過傳統過濾方式，已能有效控制空氣中懸浮的粉塵；但相較於粉塵，其他有機或無機的微污染物，對製程良率則有更巨大的影響。換言之高效能AMC微污染控制技術，是目前半導體大廠發展5奈米先進製程的關鍵要素之一。

AMC主要分為MA酸性物質、MB鹹性物質、MC凝結性物質及MD摻加物質，及H2O2、O3等無法歸類者，這些氣態分子污染物，以尺寸來看僅需要5~25個分子沈積，便可佔滿5奈米線寬，導致該晶片損壞，這是目前半導體業者面臨最大的難題。

為解決此問題，化學濾網業者於傳統粉塵濾網外疊加多效化學濾網，亦即傳統三合一化學濾網模組模。但它延伸出莫大問題，即業者為確保效能達到高水準，因而採用大量PU膠將濾網封在金屬框內，一來PU膠本身就釋出污染源，二來礙於金屬與濾材被黏死而無法更換，最終只會淪為複合型態的廢棄物。

濾能研發的環保組合式濾網，則呈現截然不同風貌。游議輝歸納它擁有諸多優勢，首先完全不使用PU膠、讓用戶因而節省3%~5%成本。其次將框體設計為獨特的抽取式或堆疊式，方便用戶僅需替換單層濾材，不需要取下整組濾網，相對輕量且安全性佳。第三，模組化外框可重複使用，更換簡易，與傳統三合一化學濾網形成極大反差。第四，因濾材與外框可重複使用，使購置成本減少40%以上、廢棄物減量60%以上，連帶降低廢棄物堆積與後續處理費用。第五，環保型濾網讓備品僅剩濾材，外框可多次使用到耗損才需補充。

「濾能以3R--Reduce、Reuse、Recycle為核心理念，期望達到零廢棄物目標，」游議輝補充說明，世界正面臨氣候變遷、全球暖化、頻繁出現極端氣候等嚴峻的環境議題，所以人類不應以「再利用經濟」(仍會產生廢棄物)為滿足，需要更進一步達到「循環經濟」，務求100%利用原料資源、不再生成任何廢棄物，這正是濾能想要帶給產業的全新思維。

除致力發展模組化濾網外，濾能也積極推廣另一產品「氟素化學冷卻液洩漏檢測及解決方案」，協助晶圓代工廠更有效找出污染物來源。係因晶圓廠須在許多機台上採用Chiller，但它使用過程中的洩漏造成新興AMC污染來源，透過濾能的解決方案，即能以人工探針的採取方式，於1分鐘內完成洩漏點測試，從來源阻斷AMC產生。