EUV製程對高純度氫氣需求爆增 廢氫回收或成新產業
- 莊衍松／台北
德國馬克斯普朗克研究院（Max Planck Institutes）與台灣的國家同步輻射研究中心、國立陽明交通大學曾共同找到可大幅節省電解能耗，催化劑成本只要萬分之1的氫氣產製方法。由於半導體極紫外光（EUV）製程對高純度氫氣需求大幅提高，除了創新技術之外，台灣...
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