海德漢ETEL為半導體製程帶來運動控制與精密運動平台解決方案

在海德漢2023年半導體盛會上探索電子和半導體製造的新解決方案。海德漢

隨著半導體製程與封裝技術的不斷提升，因此愈加要求製造與封測設備的整體性能。海德漢ETEL是擁有超過百年歷史的量測和運動控制軟硬體的供應商，在運動平台、控制系統與編碼器、光學尺等擁有相當完整的產品組合。

海德漢電子事業部銷售主管林明良談到，在半導體設備運動控制平台的相關解決方案中，海德漢ETEL從設備所需的零組件到完整運動平台，都能提供高效能的解決方案給客戶，在面對晶圓製造與先進封裝的製程挑戰時，能使其設備發揮高效能、高精度的運動控制能力，確保在良率與產能有極佳的表現。

在設備運動控制平台的零組件方案中，光學尺扮演著關鍵的角色，傳統光學尺僅能量測單一自由度上的位置，其他自由度上的誤差無法被量測，故精度就無法提升，因此在先進製程的良率提升，會遇到相當程度的瓶頸。若要解決這方面的問題，傳統作法必須使用多組光學尺搭配多個讀取頭來處理多個自由度的精度量測，後端的設備取得較為完整的量測數據後，便得以補償校正，確保整體設備的運作精度與穩定性都能有最好的表現。但這種作法在整體系統設計上就會變得非常複雜和沒有效率。

為了解決這方面的問題，海德漢的2D平面編碼器 PP 6000可直接回饋X、Y、Rz三個自由度的量測數值，讓設備商可以直接使用不須再額外計算，可大幅縮短運作時間外，也讓整體系統精度提升至奈米等級。PP 6000可根據晶圓的大小，其光學蝕刻板從60mm x 60mm到464mm x 464mm共有4種尺寸能提供設備商選擇應用。

如先前所提，除海德漢光學尺外，ETEL亦有運動平台VULCANO2與主動式制振平台QuiET，因此可提供給客戶高度整合性的運動平台解決方案。VULCANO2是一款具有創新設計概念，並搭載著名ETEL鐵心式馬達以及高階光學尺的龍門堆疊式多軸運動系統，尤其適用於晶圓前段和3D IC製程檢測等製程，例如微影堆疊量測、微小關鍵尺寸特徵2D&3D量測、薄膜量測等應用。QuiET則能有效消除來自樓板振動和運動平台本身加減速的振動，QuiET的前饋控制可消除高達99%的振動。

林明良表示，海德漢ETEL的產品，如光學尺、運動控制器、運動平台與制振平台等，可以彼此互相搭配提供完整解決方案給客戶，也能依照客戶需求單獨提供，就業務模式上相當彈性且多元。而他也強調，海德漢ETEL豐富的應用經驗，搭配海德漢ETEL所提供的完整解決方案，可縮短開發時間，使客戶端設備快速導入量產。以往客戶需要自行整合來自各供應商的零組件，並對其原型機進行完整測試，確認沒有問題後才會進入量產階段。使用海德漢ETEL的完整解決方案，可有效簡化開發流程，提升研發效益，使設備快速導入量產。

這類的解決方案非常適合用在半導體各種尺寸的晶圓檢測製程以及各種先進封裝製程中(如: CoWoS, InFO ,SoIC)，目前在許多國際大廠的關鍵製程設備中，都可以看到海德漢ETEL的身影。海德漢ETEL不僅是設備業大廠的重要合作夥伴，也是名副其實的隱形冠軍。