Micro LED大規模商用可期 應用材料從背板技術製造環節下手

應用材料全球顯示器事業群副總裁郭怡之表示，應材位於台南的顯示器設備製造中心和實驗室，已經建置了CVD等Micro LED背板製造所需要的設備，所以可以協助客戶進行所有製造環節的參數調校，未來在建廠後進入量產環節時，就能夠大幅減少調校時間。DIGITIMES攝

眾所皆知，應用材料公司（Applied Materials）（下稱應材）是全球知名的面板製造設備大廠。隨著顯示技術不斷演進，從傳統LCD一路進展至LED背光技術的發展，再到近年也相當普遍的OLED，顯示器產業也開始討論Micro LED在顯示應用的發展與可能性，台灣資通訊產業無不集中火力，投入最新的顯示技術研發，而應材同樣也在Micro LED有所布局，會與台灣相關供應鏈與生態系一同合作。

Micro LED大規模商用障礙：製造成本過高

應材全球顯示器事業群副總裁郭怡之表示，Micro LED被產業界譽為極致的面板技術，最主要的特色在於它本身具備高亮度與高對比的表現，加上它也無懼於與氧氣與空氣接觸，所以客觀來說，Micro LED的壽命相較於OLED為長，加上它本身的Pixel（畫素）可以做到更小，所以透明顯示的能力高於其他現今的顯示技術，穿透比的表現更加出色，與此同時也能整合更多的感測元件，為人機介面應用帶來更多的想像空間。問題在於，Micro LED現行的製造成本過高，使得許多對於成本較為敏感的終端應用來說，仍然有導入上的困難。也因此，從製造設備下手，會是應材可以發揮的空間。

應材以四大產品線，協助客戶導入LTPO技術

郭怡之進一步解釋，Micro LED的成本過高的原因在於現行的背板技術仍是採用LTPS（低溫多晶矽）來量產，但以應材的角度，未來若能採用LTPO（低溫多晶氧化物）乃至於HMO（高遷移率氧化物半導體）等技術可以實現更低的功耗表現，而應材在相關技術領域上共有四大產品線能協助使之量產，分別是CVD（化學氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）、E-Beam Review（電子束檢視）與EFIB（Electron Beam Review — Focused Ion Beam）等，其優勢在鍍膜的均勻度表現能更加出色，其次就是在製造過程中，降低異物比重提升良率表現，最後能協助客戶從量測的角度來提升良率，簡言之，應材希望協助客戶在量產Micro LED背板上，在製造端能提供完整的解決方案，協助儘速導入LTPO 乃至於HMO技術。

應材深耕台灣面板產業，Micro LED大規模商用可期

事實上，台灣顯示產業投入Micro LED技術開發量產已有不短時間，從面板乃至於終端應用，希望能加以整合，以期在全球Micro LED市場搶佔先機。而應材在台南早已設立全球最大的顯示器設備製造中心和實驗室可以協助客戶進行材料的研發與設備量產、參數調整等多項工作。郭怡之透露，在台南的製造與研發，已經建置了前面所談到的CVD等設備，所以可以協助客戶進行所有製造環節的參數調校，未來在建廠後進入量產環節時，就能夠大幅減少調校時間，加速量產時程，甚至也能與客戶的客戶一同合作與討論，就不同的材料與技術等，探討更多量產的可能性，也就是說應材與台灣顯示產業生態系已有相當密切的合作關係，一同為Micro LED的大規模商用而努力。