資騰科技引領先進製程革命 助力半導體良率提升

Fractilia FAME OPC套件精準量測隨機性變化，有效加速OPC Modeling工作。資騰

佳世達集團羅昇旗下資騰科技將於2024年9月4~6日參加「2024 SEMICON Taiwan國際半導體展」，展位號為M0842，偕同歐美日及在地合作夥伴展出。此次展會將聚焦於運用隨機性誤差量測工具在先進製程與EUV應用，以及VOC回收產品，可應用於AI伺服器散熱之雙相浸潤式冷凍液回收，助力客戶達成環境永續目標。

先進製程與EUV應用

Fractilia FAME 300專為量產晶圓廠設計，能即時測量和監控先進節點微影圖案化誤差中的隨機效應(stochastic)，其全新FAME OPC套件，能自動化測量多種隨機效應並縮短運算時間，提升微影圖案化中的OPC建模精準度，對High-NA EUV製程精度具關鍵影響。可用於所有SEM工具、High-NA EUV與OPC資料串流，幫助先進半導體提高良率、降低製程風險，實現高效穩定生產。

推動ESG和AI前沿技術

本次展出產品包括來自德國的Intelligent Fluids的物理性去光阻技術、EcoDesign的Metal Free臭氧水產生設備、Prognosis普格諾斯科技的智能振動感測器、FlowVIEW邑流科技的濕製程微汙染監控解決方案、AI Particle Imager影像檢測儀，日本大廠Morikawa和德國新創公司CNM Technologies的合作，主要實績為面板廠、自動化設備廠與半導體客戶。

（一）Intelligent Fluids GmbH：來自德國的創新清潔液體，具備去汙、去膠和去光阻等效果，pH值介於5.5~6.5之間，對人體無直接性傷害，無毒且環保，並能在自然環境中分解。可取代NMP等有毒溶劑，幫助客戶實現更安全、可持續的生產過程。

（二）EcoDesign臭氧水產生設備：專利設計的石英三重管及渦旋式臭氧溶解技術，可提供無金屬微粒、穩定且高濃度的臭氧水，在晶圓清洗過程中，可降低RCA製程的藥劑使用量，同時維持高品質的製程控制，在矽基半導體與碳化矽半導體製程中獲得廣泛採用，達成更永續製造目標。

（三）Prognosis智能振動感測器：高精度工業級MEMS振動感測器，具備防爆、耐腐蝕、寬溫等各種規格，結合AI設備故障預診軟體，提供符合半導體廠自動化監控的解決方案。確保設備始終以最佳狀態運行，不僅降低產能損失和維修成本，同時實現節能減碳目標。

（四）FlowVIEW濕製程微汙染監控解決方案：包括臨場電子顯微鏡觀測，突破固態樣品限制，能在30秒內完成封裝並觀測到7nm微粒子。多通道液體粒子檢測系統整合至產線，能24小時監控數據與預警。AI Particle Imager利用影像檢測和AI分析，快速處理濕製程中的粒子和氣泡，生成自動化圖像報表，監控製程品質，降低污染風險與設備成本提升良率。

（五）Morikawa VOCs處理技術：Morikawa榮獲日本產業技術大獎，該技術針對各領域中的VOCs溶劑氣體進行液化回收，減少環境危害的同時降低溶劑購買成本。

其陽雙相浸沒式伺服器:雙相浸沒式散熱解決方案有降低能耗(PUE)、增加功率密度節省空間及增強散熱效率的優點，搭配上Morikawa的VOCs冷卻液回收系統，更能夠達到環境友善與提高經濟效益。

CNM Technologies 碳奈米膜材料：具有極微小孔隙及大通量的物理特性，可應用於半導體超高純水過濾、精水處理等。於電池和燃料電池應用，實驗證明可增加鋰電池的2倍壽命，達到增強能源儲存設備的可靠性和效能，提高半導體和精水處理過程中的過濾效率。