上海微電子申請EUV專利 中國微影技術自主見進展
- 楊智家／綜合報導
中國大陸半導體製造設備業者上海微電子裝備（集團）公司，於9月10日公布一項極紫外光（EUV）技術專利，凸顯儘管中國半導體製造業面臨美國升級晶片技術出口制裁，中國本土半導體業者仍在掌握自主微影設備技術方面取得進展。南華早報報導，據中國企...
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