海德漢ETEL最佳前瞻性量測解決方案

海德漢於SEMICON TAIWAN 2020展示集團一系列的高精度產品，包含ETEL精密運動平台、HEIDENHAIN、NUMERIK JENA與RSF的開放式光學尺。現場將呈現高產能與高生產效率完美並存的解決方案。

2020年的半導體展會中也將展出超高精度LIP開放式光學尺，精密定位晶圓檢測設備。LIP開放式光學尺的極佳安裝尺寸及較低干擾準位之特色，非常適用於半導體製造、量測與高精度極微小型的生產加工。在必須高速控制同時又具備準確位置穩定性條件的機台設備中，海德漢的光學尺LIP系列即為機台中不可或缺的一部分。

RSF的增量式光學尺MS15

RSF的增量式光學尺MS15獨特光學設計與安裝容許誤差較大的特色，降低了對污染的敏感度。此一系列採用獨特的掃描原理，允許高速度達10m/s。同時內建左右極限及原點訊號輸出，讓使用者能感受到機台運動狀態的穩定性。

NUMERIK JENA 的 LIKgo 新增量式直線光學尺

LIKgo是NUMERIK JENA推出的全新、特別設計的開放式直線光學尺，其外型輕薄短小，適用於半導體檢測與生產設備、量測儀器與量測顯微鏡等。

ETEL的TELICA精密運動平台

TELICA是ETEL新一代先進封裝設備的高速雙龍門平台，XYZ共8軸的運動平台。應用於Die bonding黏晶製程 (Flip-chip, Fan-out, 3D stacked package and µ-LED bonding)。此運動控制平台可同時滿足高產能與高精度，具備X軸加速度可達4G，Y軸6G，Z軸7.5G，±1 µm 放置精度 (global placement accuracy)與覆晶封裝應用，生產率達10kUPH，提供更高效能。

ETEL推出Vulcano XY精密運動平台結合ZT3H旋轉傾斜和Z軸模組適合用於晶圓的前製程段。機械軸承的設計在XY水平與垂直方向提供極高剛性，允許高加減速度(可達2.5g)，最高速度(可達1.5m/s)，雙向重複精度(X軸與Y軸 ±250nm)，具備奈米等級的定位穩定性。Vulcano內建高速高精度控制器AccurET VHP與主動式制振平台QuiET，大幅增強高速高精度運動性能，適合應用於奈米等級的量測機台。

ETEL專注於直驅運動控制技術，為滿足客戶精密運動控制的需求，致力於線性馬達、 DD馬達、運動控制以及高階運動平台等多樣的產品開發，產品線完整多樣並持續創新精進，歡迎蒞臨海德漢攤位K2668指導參觀。