志尚儀器推出第四代「無放射性射源」IMS 分析儀

志尚儀器領先推出「無放射性射源」IMS分析儀，提供終端用戶可靠C/P值高的最新AMC量測方法。

志尚儀器領先推出「無放射性射源」IMS分析儀，提供終端用戶可靠C/P值高的最新AMC檢測方法，但以往的IMS因為技術問題都會以鎳63或氚等放射性元素作為游離源，導致終端使用客戶不論在使用或維修上都有著極大的困擾，為此志尚儀器特別與國外研究機構合作推出最新一代「無放射性射源」且可商用化的離子光譜分析儀(IMS)做為第四代最新的AMC利器。

此外針對Semi IRDS上的其他AMC量測方式，志尚儀器也與國立陽明交通大學環境工程研究所的蔡春進教授合力開發線上酸鹼排放暨AMC分析系統(PWPD-IC)，已經在T-公司以及相關LCD龍頭的兩家公司都已經裝設並有效提供使用者改善的對策，另外蔡教授也採用本方法針對排放到大氣中的顆粒(PM2.5)與氣體成分進行24小時的監測。另外，志尚儀器也提供客戶光腔衰盪光譜(CRDS)的分析儀針對許多特氣中的不純物氣體進行分析。

2020年也結合相關德國的技術整合為符合SEMI C79-0113及C93-0217 Guide可量測3-350/8-1200nm奈米粒徑分布，除了可作為超純水(UPW)的線上監控設備，也特別針對CMP(研磨機)所使用的Slurry粒徑分布量測提供完全新設計的LNS系列；對於極低濃度或是真空腔中的微量氣體，志尚提供RGA線上質譜系統以及線上型ppb級總有機性氣體(TVOC)等解決方案；此外也會展出高科技廠房常用的工安環保及IAQ等相關設備。

第四代無放射源IMS分析儀 符合SEMI微污染分析

在SEMI IRDS Roadmap中所建議半導體廠中偵測AMC的分析方法為PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等，而IMS技術為目前最常用的監測方式，主要在於其價格相對較低與操作簡易，但是以往客戶都會因為使用了含有鎳63或是氚等放射性元素造成使用上有著不少的限制，因此近年來志尚儀器一直努力不懈的與國外做相關技術的交流，目前已經成功的開發出第四代的離子電泳分析儀(IMS)，其設計納入了前三代的優點，可以使用空氣做為Dopant外也可以採用化學Dopant，另外在電路上也採可以交換正負極的方式一機可分別偵測酸鹼兩種氣體，並且使用空氣為電荷供應源時可以同時量測多種酸性氣體(HCl/Cl2/HF/H2S/SO2)；此外可加溫的偵測器設計可以避免樣品濃度過高造成汙染。

最新高科技廠房酸鹼氣體偵測 暨PM2.5質量及成分分析技術

此外志尚儀器還繼續與國立陽明交通大學蔡春進教授的進行更進一步的技術合作，並成功將蔡教授的Denuder技術進行商業化改良，並與ISO 17025實驗室結合，已經成功開發出新一代的AMC分析儀(PPWD-IC)，除了可以針對大氣做成分分析也成功應用於高科技廠房有關酸鹼排放氣體(五酸一鹼)的線上偵測，志尚儀器在交大環工所蔡春進教授的指導下，成功將原本使用在AMC領域的PPWD(濕式平行板氣液吸收器)用於排放管道中五酸一鹼的偵測，也可經由SDEP/PILS進行微粒中化學成分的分析。

此外，更與蔡教授合作發展新型的排放管道PM2.5光學式線上連續監控系統，針對高科技廠房中因為酸鹼氣體與高濕度造成光學系統的不準度設計特殊的前處理設備，更使用Beta-Gauge做雙重驗證確認數值準確度。

另外，近來更合作開發相關PM2.5及氣膠微粒採樣設備，回收率可達95%以上，與之前的Denuder合體可以同時且有效的針對酸鹼排放管道氣體及PM2.5微粒樣品進行成分分析；目前並成功與林口電廠合作監測上下游排放PM2.5與大氣的成分。

打破20nm極限 可量測UPW 或Slurry 10nm以下微粒子

志尚儀器與德國技術合作繼續推出突破20奈米極限使用於高科技廠房中超純水使用的超微細粒子計數器，採用先進的霧化器(Nebulizer)系統可將UPW超微細顆粒經由 SMPS系統可以量測水中或Slurry 中的粒子分布達 3-350/8-1200nm，分析時間也可大幅縮短。

如需進一步志尚產品訊息，請上志尚儀器官網查詢，歡迎業界先進蒞臨會場參觀指教，展示攤位號碼：南港展覽館4樓L0208。