愛德華綠色製造方程式 用環境減排技術實現淨零

如果檢視2021年產業關鍵字，淨零絕對是其中之一。比爾蓋茲在《如何避免氣候災難》中提到，達到零碳是當今世代最艱鉅的任務，未來10年沒有比淨零排放、應對氣候變遷更重要的事。

11月在英國格拉斯哥剛舉行的第26屆聯合國氣候變遷大會(COP26)，強調必須實現《巴黎氣候協定》，守住升溫臨界值攝氏1.5度，敦促各政府提出減碳期程與積極作法，如逐步減少化石燃料等。

全球半導體領導企業更紛紛在2021年提出淨零與氣候溫升的相關目標，如愛德華先進科技(簡:愛德華)便積極設立SBTi目標，並透過環境減排的技術協助客戶有效減少碳排。

愛德華作為高科技綠色製造技術的驅動者，以最小化半導體對現在與未來世代以及地球的環境衝擊為願景；設立了科學基礎減碳目標(Science-Based Targets initiative；SBTi)，愛德華自身所有的生產製造營運以及運輸的溫室氣體量要在2030年達到減排46%的階段性目標，並以實現控制溫室氣體的排放總量不高於升溫攝氏1.5度為終極目標；此目標也與2050淨零排放同步。

愛德華在協助客戶減少溫室氣體排放的目標上，其廢氣減排(abatement)技術不斷追求創新，以2020年為例，減排解決方案幫助全球客戶減少了1,770萬噸的二氧化碳碳排，等於少了1.5個台北市一年的碳排(台北市同年碳排放量為1,138萬噸)。

其中，愛德華Atlas ULF(ultra low fuel)版本的減排設備，面對關鍵的蝕刻製程，更有效降低高達80%的燃燒腔體的瓦斯用量，因此減少了80%的碳排，而燃燒量低，對使用冰水機冷卻的需求也自然減少，便更進一步減少碳排。

此外，愛德華更提供大氣量(600slm)的減排方案幫助客戶提升一倍的廢氣處理效率(原為300slm)，且大氣量的機台體積與原本一樣，等於佔地面積(footprint)直接減半，客戶僅需50%的裝機成本與面積，便能做好原本的工作，兼顧效能、成本與減碳。

另一個關鍵，是氮氧化物(NOx)的減量。這是愛德華領先業界的另一個優勢技術，以超過20年的研發，透過有效控制腔體內燃燒的溫度，保持在最小化氮氧化物(NOx)產出的條件下，直接從源頭解決了客戶處理氮氧化物等溫室氣體的壓力。

減排、淨零、永續，對愛德華來說，不只是關鍵字，更是核心價值與具體行為；與客戶同行，在實現淨零排放的路上，仍有很多未解的問題與待開發的解方，但愛德華看到更多的是，這個目標帶來的無限創新與推動產業前進的機會。